WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO1998025293) PROCEDE D'EXPLOITATION D'UN APPAREIL OPTIQUE A PARTICULES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/025293    N° de la demande internationale :    PCT/IB1997/001401
Date de publication : 11.06.1998 Date de dépôt international : 06.11.1997
CIB :
H01J 37/141 (2006.01)
Déposants : KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. [NL/NL]; Groenewoudseweg 1, NL - 5621 BA Eindhoven (NL).
PHILIPS NORDEN AB [SE/SE]; Kottbygatan 7, Kista, S-164 85 Stockholm (SE) (SE only)
Inventeurs : KRIJN, Marcellinus, Petrus, Carolus, Michael; (NL).
HENSTRA, Alexander; (NL)
Mandataire : BAKKER, Hendrik; Internationaal Octrooibureau B.V., P.O. Box 220, NL-5600 AE Eindhoven (NL)
Données relatives à la priorité :
96203421.1 03.12.1996 EP
Titre (EN) METHOD OF OPERATING A PARTICLE-OPTICAL APPARATUS
(FR) PROCEDE D'EXPLOITATION D'UN APPAREIL OPTIQUE A PARTICULES
Abrégé : front page image
(EN)Electron-optical, rotationally-symmetrical lenses inevitably exhibit spherical and chromatic aberrations which usually determine the limit of the resolution. Such lens aberrations cannot be eliminated by compensation by means of rotationally-symmetrical fields. In order to enhance the resolution nevertheless, it has already been proposed to reduce said lens aberrations by means of a Wien-type corrector. Such a configuration must satisfy very severe requirements as regards manufacturing precision, mechanical and electrical stability and alignment of the various elements relative to one another. Consequently, it is extremely difficult to perform readjustement of the electron-optical apparatus by means of such a corrector in the case of changing circumstances. According to the invention there is provided a combination of a correction unit and a doublet to be corrected. By constructing the objective to be corrected as a doublet (5) and by independently controlling the two lenses (6 and 8) of the doublet (5), the setting of the correction unit (28) can remain unchanged, it being possible to vary the free object distance and the electron voltage nevertheless during operation of the electron-optical apparatus.
(FR)Les lentilles optiques à électrons à symétrie de révolution présentent d'inévitables aberrations sphériques et chromatiques, lesquelles déterminent habituellement la limite de la résolution. Ces aberrations des lentilles peuvent être éliminées par compensation au moyen de champs à symétrie de révolution. Toutefois, afin d'améliorer la résolution, on a déjà proposé de réduire lesdites aberrations des lentilles au moyen d'un correcteur de type Wien. Cette configuration doit satisfaire des conditions extrêmement strictes quant à la précision de fabrication, la stabilité mécanique et électrique ainsi que l'alignement des divers éléments les uns par rapport aux autres. Par conséquent, il est extrêmement difficile d'effectuer des réajustements de l'appareil optique à électrons au moyen de ce type de correcteur en cas de circonstances changeantes. Selon l'invention, on a combiné une unité de correction et un doublet à corriger. Le fait de construire l'objectif à corriger sous la forme d'un doublet (5) et de commander indépendamment les deux lentilles (6 et 8) du doublet (5) permet de ne pas modifier le réglage de l'unité de correction (28), tout en présentant la possibilité de faire varier la distance de l'objet libre et la tension des électrons pendant le fonctionnement de l'appareil optique à électrons.
États désignés : JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)