WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO1998025103) METHODE DE MESURE INTERFEROMETRIQUE DE POSITIONS, DE VARIATIONS DE POSITION ET DES GRANDEURS PHYSIQUES DERIVEES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/025103    N° de la demande internationale :    PCT/DE1997/002568
Date de publication : 11.06.1998 Date de dépôt international : 06.11.1997
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    01.07.1998    
CIB :
G01B 9/02 (2006.01)
Déposants : ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20, D-70442 Stuttgart (DE) (Tous Sauf US).
DRABAREK, Pawel [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : DRABAREK, Pawel; (DE)
Données relatives à la priorité :
196 50 703.0 06.12.1996 DE
Titre (DE) VERFAHREN ZUM INTERFEROMETRISCHEN MESSEN VON POSITIONEN, POSITIONSÄNDERUNGEN UND DARAUS ABGELEITETER PHYSIKALISCHER GRÖSSEN
(EN) INTERFEROMETRIC MEASUREMENT OF POSITIONS, POSITION CHANGES AND PHYSICAL QUANTITIES DERIVATED THEREFROM
(FR) METHODE DE MESURE INTERFEROMETRIQUE DE POSITIONS, DE VARIATIONS DE POSITION ET DES GRANDEURS PHYSIQUES DERIVEES
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum interferometrischen Messen von Positionen und Positionsänderungen sowie daraus abgeleiteter physikalischer Größen eines zu untersuchenden Teils mittels Heterodyn-Interferometrie, wobei zur Erzeugung der Heterodyn-Frequenz ein Laser zur Änderung der Frequenz der von ihm abgegebenen Strahlung mittels eines sich zeitlich ändernden Injektionsstroms moduliert wird und die abgegebene Strahlung einerseits über einen optischen Umweg und andererseits ohne den optischen Umweg zu dem zu untersuchenden Teil und von dort zu einem Meßempfänger geführt wird. Bei kleineren Dimensionen wird eine bessere Auswertung der Meßergebnisse dadurch erzielt, daß die Signalform des Injektionsstroms eine relativ zu seiner Pulslänge steile Anstiegsflanke sowie ein daran anschließendes Plateau aufweist.
(EN)The present invention relates to a method for measuring the positions and the position changes, as well as the physical quantities derivated therefrom, of an element to be examined according to the method of heterodyne interferometry. In order to generate the heterodyne frequency, a laser is modulated by means of a time-varying injection current in such a way that its radiation frequency is changed, that the radiation is directed toward the element to be examined by using an optical deviation on one side and no optical deviation on the other side, and then redirected to a measuring receiver. With regard to a small-sized object, the measured values are better assessed if the shape of the injection current signal is characterized by a steep rising edge in relation to its pulse duration, followed by a plateau.
(FR)La présente invention porte sur une méthode de mesure interférométrique des positions et des variations de position, ainsi que des grandeurs physiques qui en sont dérivées, d'un élément à examiner selon la méthode de l'inferférométrie hétérodyne. Pour générer la fréquence hétérodyne, on module un laser à l'aide d'un courant d'injection à variation dans le temps pour modifier la fréquence de son rayonnement, diriger le rayonnement vers l'élément à examiner, en utilisant un détour optique d'un côté et en n'utilisant pas de détour optique, de l'autre, et le diriger ensuite vers un récepteur de mesure. Si l'objet est de dimensions modestes, on évalue d'autant mieux les résultats des mesure que la forme du signal du courant d'injection présente un front montant abrupt par rapport à sa durée d'impulsion, suivi d'un plateau.
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)