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1. (WO1998024123) PROCEDE ET APPAREIL DE TRANSPORT DE SUBSTRATS EN FEUILLES MINCES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/024123    N° de la demande internationale :    PCT/JP1997/004242
Date de publication : 04.06.1998 Date de dépôt international : 21.11.1997
CIB :
H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : NIPPON SANSO CORPORATION [JP/JP]; 16-7, Nishi-shinbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 105 (JP) (Tous Sauf US).
TODA, Masayuki [JP/JP]; (JP).
OHMI, Tadahiro [JP/JP]; (JP).
ISHIHARA, Yoshio [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : TODA, Masayuki; (JP).
OHMI, Tadahiro; (JP).
ISHIHARA, Yoshio; (JP)
Mandataire : SHIGA, Masatake; OR Building, 23-3, Takadanobaba 3-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 169 (JP)
Données relatives à la priorité :
8/315193 26.11.1996 JP
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR CONVEYING THIN SHEET-LIKE SUBSTRATE
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE TRANSPORT DE SUBSTRATS EN FEUILLES MINCES
Abrégé : front page image
(EN)When a thin sheet-like substrate S is conveyed between conveying chambers (2) equipped with a processing apparatus (1) and kept in an inert gas atmosphere by using a conveying robot (30) equipped with an accommodation chamber (3) capable of accommodating the thin sheet-like substrate (S) in an inert gas atmosphere, a connection chamber (4) is interposed between the accommodation chamber (3) and the conveying chamber (2) when the thin sheet-like substrate (S) is transferred between the accommodation chamber (3) of the conveying robot (30) and the conveying chamber (2) on the side of the processing apparatus (1), and is vacuumized, and then an inert gas is introduced. Thereafter, gate valves (GV1 and GV2) of the accommodation chamber (3) and the conveying chamber (2) are opened and the thin sheet-like substrate (S) is carried in and out.
(FR)Lorsqu'un substrat S en feuille mince doit être transféré entre une chambre de transfert (2) munie d'un appareil de traitement (1) et maintenu dans une atmosphère de gaz inerte en utilisant un robot de transfert (30) muni d'une chambre de réception (3) pouvant recevoir le substrat S en feuille mince dans une atmosphère de gaz inerte. On interpose une chambre de liaison (4) entre la chambre de réception (3) et la chambre de transfert (2) au moment du transfert du substrat S en feuille mince entre la chambre de réception (3) du robot de transfert (30) et la chambre de transfert (2) montée sur le côté de l'appareil de traitement (1). On fait alors le vide, puis on introduit le gaz inerte. On ouvre ensuite les robinets d'arrêt GV1 et GV2 de la chambre de transfert (2), puis le substrat S en feuille mince est transféré à l'intérieur, puis il en ressort.
États désignés : KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)