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1. (WO1998023408) COMPOSITION ET EMULSION UTILES DANS LE POLISSAGE CHIMIQUE ET MECANIQUE DE METAUX
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/023408    N° de la demande internationale :    PCT/US1997/022083
Date de publication : 04.06.1998 Date de dépôt international : 21.11.1997
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    17.06.1998    
CIB :
C09G 1/02 (2006.01), C23F 3/00 (2006.01), H01L 21/321 (2006.01)
Déposants : CABOT CORPORATION [US/US]; 75 State Street, Boston, MA 02109-1806 (US)
Inventeurs : GRUMBINE, Steven, K.; (US).
STREINZ, Christopher, C.; (US).
MUELLER, Brian, L.; (US)
Mandataire : LANDO, Michelle, B.; Cabot Corporation, 157 Concord Road, P.O. Box 7001, Billerica, MA 01821-7001 (US)
Données relatives à la priorité :
08/753,482 26.11.1996 US
08/827,918 08.04.1997 US
08/891,468 11.07.1997 US
Titre (EN) A COMPOSITION AND SLURRY USEFUL FOR METAL CMP
(FR) COMPOSITION ET EMULSION UTILES DANS LE POLISSAGE CHIMIQUE ET MECANIQUE DE METAUX
Abrégé : front page image
(EN)A chemical mechanical polishing precursor composition comprising at least one catalyst having multiple oxidation states, and at least one stabilizer, the composition being useful when admixed with an oxidizing agent prior to use to remove metal layers from a substrate. Also disclosed is a chemical mechanical polishing composition comprising an oxidizing agent and at least one catalyst having multiple oxidation sites, the composition being useful when combined with an abrasive or an abrasive pad to remove metal layers from a substrate.
(FR)L'invention concerne une composition-précurseur de polissage chimique et mécanique, qui comprend au moins un catalyseur présentant plusieurs états d'oxydation et au moins un stabilisateur, la composition étant utile pour enlever des couches métalliques d'un substrat lorsqu'on la mélange à un agent oxydant avant utilisation. L'invention concerne également une composition de polissage chimique et mécanique, qui comprend un agent oxydant et au moins un catalyseur présentant plusieurs sites d'oxydation, la composition étant utile pour enlever des couches métalliques d'un substrat lorsqu'on l'utilise conjointement avec un abrasif ou un tampom abrasif.
États désignés : AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, GH, HU, ID, IL, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, UZ, VN, YU, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, KE, LS, MW, SD, SZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)