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1. WO1998007040 - SYSTEME DE MESURE A MEMBRANE AVEC FROTTEMENT DE CONTACT LOCAL

Numéro de publication WO/1998/007040
Date de publication 19.02.1998
N° de la demande internationale PCT/US1997/008292
Date du dépôt international 02.05.1997
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 06.03.1998
CIB
G01R 1/067 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
1Détails ou dispositions des appareils des types couverts par les groupes G01R5/-G01R13/125
02Éléments structurels généraux
06Conducteurs de mesure; Sondes de mesure
067Sondes de mesure
G01R 1/073 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
RMESURE DES VARIABLES ÉLECTRIQUES; MESURE DES VARIABLES MAGNÉTIQUES
1Détails ou dispositions des appareils des types couverts par les groupes G01R5/-G01R13/125
02Éléments structurels généraux
06Conducteurs de mesure; Sondes de mesure
067Sondes de mesure
073Sondes multiples
CPC
G01R 1/06711
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
1Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
02General constructional details
06Measuring leads; Measuring probes
067Measuring probes
06711Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
G01R 1/07342
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
1Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
02General constructional details
06Measuring leads; Measuring probes
067Measuring probes
073Multiple probes
07307with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
07342the body of the probe being at an angle other than perpendicular to test object, e.g. probe card
G01R 1/0735
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
1Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
02General constructional details
06Measuring leads; Measuring probes
067Measuring probes
073Multiple probes
07307with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
0735arranged on a flexible frame or film
Déposants
  • CASCADE MICROTECH, INC. [US]/[US] (AllExceptUS)
  • GLEASON, K., Reed [US]/[US] (UsOnly)
  • SMITH, Kenneth, A. [US]/[US] (UsOnly)
  • BAYNE, Mike [US]/[US] (UsOnly)
Inventeurs
  • GLEASON, K., Reed
  • SMITH, Kenneth, A.
  • BAYNE, Mike
Mandataires
  • RUSSELL, Kevin, L.
Données relatives à la priorité
08/695,07708.08.1996US
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) MEMBRANE PROBING SYSTEM WITH LOCAL CONTACT SCRUB
(FR) SYSTEME DE MESURE A MEMBRANE AVEC FROTTEMENT DE CONTACT LOCAL
Abrégé
(EN) A membrane probing assembly (42) includes a support element (54) having an incompressible forward support (66) tiltably coupled to a rearward base and a membrane assembly (72) with its central region (80) interconnected to the support (54) by an elastomeric layer (98). Flexible traces form data/signal lines (76) to contact (88) on the central region (80). Each contact (88) comprises a rigid beam (90) and a bump (92) located in off-centered location on the beam (90), which bump (92) includes a contacting portion (93). After initial touchdown of these contacting portions (93), further over-travel of the pads (100) causes each beam (90) to independently tilt locally so that different portions of each beam (90) move different distances relative to the support (54) thus driving each contact into lateral scrubbing movement across the pad (100) thereby clearing away oxide buildup. The elastomeric member backed by the incompressible support ensures sufficient scrub pressure and reliable tilt recovery of each contact (88) without mechanical straining of the beam (90).
(FR) L'invention concerne un ensemble de mesure à membrane (42). Cet ensemble comprend un élément de support pourvu d'un support (54) vers l'avant incompressible (66), couplé par pivotement à une base vers l'arrière et un ensemble de membrane (72) composé de couches de polyimide, sa zone centrale (80) étant interconnectée au support (54) par une couche élastomère (98). Des contours flexibles forment des lignes de données/signaux (76) jusqu'à des contacts (88) sur la zone centrale (80). Chaque contact (88) comprend un rayon rigide (90) et une bosse (92) placée de manière excentrée sur le rayon (90). La bosse (92) comprend une partie formant contact (93). Après une prise de contact initiale de ces parties en contact (93), tout dépassement de course des plages de connexion (100) provoque le basculement local indépendant de chaque rayon (90), de telle sorte que les différentes parties de chaque rayon (90) se déplacent sur des distances différentes par rapport au support (54), ce qui provoque le déplacement par frottement latéral de chaque contact (88) sur la plage de connexion (100), et enlève ainsi toute accumulation d'oxyde. L'élément élastomère supporté par le support incompressible assure une pression de frottement suffisante et une restauration fiable du basculement de chaque contact (88) sans contrainte mécanique du rayon (90). Dans un autre mode de réalisation, les contacts comprennent des rayons conducteurs, chacun supportés sur un volet lâche, en forme de U, formé dans l'ensemble de membrane. Les volets et les rayons sont chacun supportés en vue de leur basculement dans une position inclinée par un moyeu élastomère interposé entre le volet et le support.
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