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1. WO1998005060 - MODULE MULTIZONE A CYCLES THERMIQUES DE CUISSON/REFROIDISSEMENT BRUSQUE

Numéro de publication WO/1998/005060
Date de publication 05.02.1998
N° de la demande internationale PCT/US1997/013568
Date du dépôt international 31.07.1997
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 27.01.1998
CIB
B01L 7/00 2006.1
BTECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
01PROCÉDÉS OU APPAREILS PHYSIQUES OU CHIMIQUES EN GÉNÉRAL
LAPPAREILS DE LABORATOIRE POUR LA CHIMIE OU LA PHYSIQUE, À USAGE GÉNÉRAL
7Appareils de chauffage ou de refroidissement; Dispositifs d'isolation thermique
H01L 21/00 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
CPC
B01L 7/52
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
7Heating or cooling apparatus
52with provision for submitting samples to a predetermined sequence of different temperatures, e.g. for treating nucleic acid samples
B01L 7/54
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
LCHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
7Heating or cooling apparatus
54using spatial temperature gradients
H01L 21/67109
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67011Apparatus for manufacture or treatment
67098Apparatus for thermal treatment
67109mainly by convection
Déposants
  • THE BOARD OF TRUSTEES OF THE LELAND STANFORD JUNIOR UNIVERSITY [US]/[US]
Inventeurs
  • SCHAPER, Charles, D.
  • EL-AWADY, Khalid, A.
  • KAILATH, Thomas
Mandataires
  • FLOYD, Mark, B.
Données relatives à la priorité
08/688,90931.07.1996US
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) MULTIZONE BAKE/CHILL THERMAL CYCLING MODULE
(FR) MODULE MULTIZONE A CYCLES THERMIQUES DE CUISSON/REFROIDISSEMENT BRUSQUE
Abrégé
(EN) A thermal cycling module includes an array of thermoelectric devices (36) divided into multiple zones (A, B, C, D) independently controlled by corresponding variable power supplies (56, 58, 60, 62). The thermoelectric devices (36) provide localized, precise, and rapid control of both heating an cooling, while fluid from one of several fluid supplies (64, 66, 68) provides bulk heating or cooling via a fluid heat exchanger (38). Sensors (46, 48, 50, 52) provide feedback of temperature or other process parameters to a controller (54) which generates control signals for controlling the power supplies (56, 58, 60, 62), the fluid supplies (64, 66, 68), and fluid valves (70, 72) which control fluid flow through the heat exchanger (38).
(FR) Un module à cycles thermiques comporte un groupement de dispositifs thermoélectriques (36) divisés en zones multiples (A, B, C, D) commandées indépendamment par des alimentations à puissance variable (56, 58, 60, 62). Lesdits dispositifs thermoélectriques (36) assurent la commande localisée, précise et rapide du chauffage et du refroidissement, alors qu'un fluide provenant d'une ou plusieurs alimentations en fluide (64, 66, 68) assure le chauffage et le refroidissement en masse par l'intermédiaire d'un échangeur de chaleur (38). Des capteurs (46, 48, 50, 52) renvoient la température ou d'autre paramètres du processus à un contrôleur (54) qui génère des signaux de commande pour la commandes des alimentations en énergie (56, 58, 60, 62), des alimentations en fluides (64, 66, 68) et des soupapes à fluide (70, 72) qui commandent l'écoulement du fluide dans l'échangeur de chaleur (38).
Documents de brevet associés
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