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1. (WO1998003696) ENSEMBLE CIBLE AVEC UNE PLAQUE CIRCULAIRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/003696    N° de la demande internationale :    PCT/CH1997/000268
Date de publication : 29.01.1998 Date de dépôt international : 15.07.1997
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    16.02.1998    
CIB :
C23C 14/34 (2006.01), H01J 37/34 (2006.01)
Déposants : BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT [LI/LI]; FL-9496 Balzers (LI)
Inventeurs : DAXINGER, Helmut; (CH).
HAAG, Walter; (CH).
KUEGLER, Eduard; (AT)
Mandataire : WERNER, Georges; Troesch Scheidegger Werner AG, Siewerdtstrasse 95, CH-8050 Zürich (CH)
Données relatives à la priorité :
1824/96 22.07.1996 CH
Titre (DE) TARGETANORDNUNG MIT EINER KREISFÖRMIGEN PLATTE
(EN) TARGET ARRANGEMENT WITH A CIRCULAR DISK
(FR) ENSEMBLE CIBLE AVEC UNE PLAQUE CIRCULAIRE
Abrégé : front page image
(DE)Eine Targetanordnung mit kreisförmiger Platte (19) weist entlang ihrem umlaufenden Rahmen (21) symmetrisch zu einer Ebene (E), senkrecht zu ihrer Zentrumsachse mindestens eine Ein- und/oder Ausformung (23, 43) auf, wobei beide Plattenseiten durch Sputtermaterial gebildet sind. Damit kann die Platte gewendet werden, und beide Seiten können abgesputtert werden.
(EN)A target arrangement with circular disk (19) has at least one inwardly and/or outwardly contoured section (23, 43) along its circumferential rim (21), symmetrical with a plane (E) and perpendicular to its central axis, both sides of the disk being constituted by sputter material. The disk can thus be turned and both sides can be sputtered.
(FR)L'invention concerne un ensemble cible avec une plaque circulaire (19), présentant, le long de son cadre périphérique (21), de façon symétrique par rapport à un plan (E) et perpendiculaire à son axe central, au moins une partie saillante vers l'intérieur et/ou vers l'extérieur (23, 43). Les deux faces de la plaque sont constituées d'un matériau de pulvérisation cathodique. La plaque peut ainsi être tournée et les deux faces peuvent être soumises à une pulvérisation cathodique.
États désignés : JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)