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1. (WO1998002904) APPAREIL DE NETTOYAGE DES TRANCHES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/002904    N° de la demande internationale :    PCT/US1997/010846
Date de publication : 22.01.1998 Date de dépôt international : 15.07.1997
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    11.02.1998    
CIB :
H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : OLIVER DESIGN, INC. [US/US]; 5 Victor Square, Scotts Valley, CA 95066 (US)
Inventeurs : STEPHENS, Donald, Edgar; (US).
JONES, Oliver, David; (US).
MILLER, Hugo, John; (US)
Mandataire : STEUBER, David, E.; Skjerven, Morrill, MacPherson, Franklin & Friel, Suite 700, 25 Metro Drive, San Jose, CA 95110 (US).
HECTOR, Annabel, Mary; W.P Thompson & Co., Celcon House, 289-293 High Holborn, London WC1V 7HU (GB)
Données relatives à la priorité :
683,654 15.07.1996 US
Titre (EN) WAFER CLEANING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE NETTOYAGE DES TRANCHES
Abrégé : front page image
(EN)A method and apparatus for cleaning a wafer oriented vertically is provided. The apparatus includes a first brush and a second brush located horizontally from the first brush. During use, a wafer is located vertically between the first and second brushes and rests on a pair of rollers. The brushes are brought into contact with the wafer and rotated thereby engaging the wafer with the rollers. By rotating the rollers, the wafer is also rotated. Liquid is sprayed towards the brushes and wafer. By orienting the wafer vertically, liquid and particulates contained therein readily fall from the wafer due to gravity. This is particularly advantageous when cleaning larger diameter wafers in which particulates must be removed from a larger wafer surface area.
(FR)L'invention concerne un procédé et un appareil pour nettoyer une tranche orientée verticalement. L'appareil comporte une première brosse et une deuxième brosse située horizontalement par rapport à la première. Lors de l'utilisation, une tranche est située verticalement entre les première et deuxième brosses et repose sur une paire de rouleaux. Les brosses sont amenées en contact avec la tranche et mises en rotation, la tranche venant ainsi en contact avec les rouleaux. La mise en rotation des rouleaux entraîne celle de la tranche. Du liquide est pulvérisé en direction des brosses et de la tranche. L'orientation verticale de la tranche permet de faire tomber aisément par gravité le liquide et les substances particulaires qu'elle contient. Ceci est particulièrement avantageux lors du nettoyage de tranches de grand diamètre dans lesquelles des substances particulaires doivent être éliminées d'une plus grande surface de tranche.
États désignés : AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, GH, HU, IL, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, UZ, VN, YU.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, KE, LS, MW, SD, SZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)