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1. (WO1998002352) VANNE DEUX ALLURES POUR COSSES A INTERFACE MECANIQUE STANDARDISEE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/002352    N° de la demande internationale :    PCT/US1997/011897
Date de publication : 22.01.1998 Date de dépôt international : 12.07.1997
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    11.02.1998    
CIB :
H01L 21/673 (2006.01)
Déposants : ASYST TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; 48761 Kato Road, Fremont, CA 94538 (US)
Inventeurs : BONORA, Anthony, C.; (US).
WARTENBERGH, Robert, P.; (US).
GOMES, Christopher; (US)
Mandataire : MILLER, Mark, E.; Fliesler, Dubb, Meyer and Lovejoy, Suite 400, Four Embarcadero Center, San Francisco, CA 94111-4156 (US)
Données relatives à la priorité :
08/678,890 12.07.1996 US
Titre (EN) TWO STAGE VALVE FOR SMIF PODS
(FR) VANNE DEUX ALLURES POUR COSSES A INTERFACE MECANIQUE STANDARDISEE
Abrégé : front page image
(EN)A valve (40) mounted in a pod door of a SMIF pod (20) for allowing gas flow to and from the sealed pod (20) while the pod (20) is seated on a SMIF port. The valve (40) is provided to allow fluid flow to or from the pod (20) upon the valve (40) being actuated by either a standard registration pin or a specially adapted fluid flow pin (68) intended for use with the present invention.
(FR)Vanne (40) montée dans l'orifice d'une cosse (20) à interface mécanique standardisée (SMIF) afin de permettre au gaz de s'écouler vers la cosse étanche (20) et depuis ladite cosse (20), tandis que cette dernière coiffe un orifice SMIF. Cette vanne (40) est conçue pour permettre l'écoulement du liquide vers ou depuis la cosse (20) lorsque la vanne (40) est mise en service soit par une broche de fixité standard, soit par une broche d'écoulement de liquide (68) conçue spécialement pour l'invention.
États désignés : DE, JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)