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1. (WO1998001887) JOINTS TORIQUES D'INTERFACE POUR ENCEINTE ET PROCEDE DE MISE EN OEUVRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/001887    N° de la demande internationale :    PCT/US1997/011619
Date de publication : 15.01.1998 Date de dépôt international : 01.07.1997
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    04.02.1998    
CIB :
H01J 37/18 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01)
Déposants : LAM RESEARCH CORPORATION [US/US]; 4650 Cushing Parkway, Fremont, CA 94538-6470 (US)
Inventeurs : BOYD, Trace, L.; (US).
BEER, Richard, D.; (US).
TERBEEK, Eric, A.; (US).
WONG, Vernon, W., H.; (US)
Mandataire : PENILLA, Albert, S.; Hickman Beyer & Weaver, P.O. Box 61059, Palo Alto, CA 94306 (US)
Données relatives à la priorité :
08/675,994 09.07.1996 US
Titre (EN) CHAMBER INTERFACING O-RINGS AND METHOD FOR IMPLEMENTING SAME
(FR) JOINTS TORIQUES D'INTERFACE POUR ENCEINTE ET PROCEDE DE MISE EN OEUVRE
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a method for implementing a vacuum seal between an interface of a transport chamber interface port of a transport chamber and another chamber. The transport chamber being configured to mate with the another chamber in an adjacent relationship. The method includes placing an insert plate having a sealing surface containing a first O-ring into the transport chamber interface port such that the first O-ring is sandwiched between the sealing surface and a surface of the another chamber. Therefore, a vacuum seal is achieved between the transport chamber and the another chamber within the transport chamber interface port via the first O-ring.
(FR)La présente invention se rapporte à un procédé permettant de créer un joint hermétique entre l'orifice d'interface d'une enceinte de transport et une autre enceinte. L'enceinte de transport est agencée de façon à être couplée à l'autre enceinte de manière adjacente. Le procédé consiste à placer une plaquette d'insertion munie d'une surface d'étanchéité contenant un premier joint torique dans l'orifice d'interface de l'enceinte de transport de manière que ledit premier joint torique est comprimé entre la surface d'étanchéité et une surface de l'autre enceinte. On obtient de la sorte, au moyen du premier joint torique, un joint d'étanchéité entre l'enceinte de transport et l'autre enceinte, à l'intérieur de l'orifice d'interface de l'enceinte de transport.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)