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1. (WO1998001722) DETECTEUR DE VITESSE ANGULAIRE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/001722    N° de la demande internationale :    PCT/JP1996/001926
Date de publication : 15.01.1998 Date de dépôt international : 10.07.1996
CIB :
G01C 19/56 (2006.01), G01P 3/16 (2006.01)
Déposants : WACOH CORPORATION [JP/JP]; 73, Sugaya 4-chome, Ageo-shi, Saitama 362 (JP) (Tous Sauf US).
OKADA, Kazuhiro [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : OKADA, Kazuhiro; (JP)
Mandataire : SHIMURA, Hiroshi; Belle Sierra Building, 6-1, Minamikamata 2-chome, Ohta-ku, Tokyo 144 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) ANGULAR VELOCITY SENSOR
(FR) DETECTEUR DE VITESSE ANGULAIRE
Abrégé : front page image
(EN)A pivot (130) is disposed along a Z axis on a semiconductor substrate (100) the upper surface of which extends along an X-Y plane, and a rotor (200) made of a dielectric material is engaged with the pivot. The rotor is supported by the pivot so that it can tilt and rotate freely. The rotor includes weights (211, 212) on its peripheries, and stators (111, 115) made of a conductive material are disposed round the weights. When an A.C. voltage having a predetermined frequency is applied to the stators, the rotor rotates while floating on the basis of the principle of an induction motor. When the substrate (100) has an angular velocity $g(v)x round the X axis, a Coriolis force Fcz in the positive direction of the Z axis acts on the weight (211) passing through the X axis with a velocity component in the positive direction of the Y axis, and thus the weight moves away from the substrate. On the other hand, a Coriolis force -Fcz in the negative direction of the Z axis acts on the weight (212) passing through the X axis with the velocity component in the negative direction of the Y axis, and thus weight approaches the substrate. Fixed electrodes (141AB, 142AB) on the substrate and moving electrodes (231, 232) on the rotor cooperate to form capacitors C1, C2, and the magnitude of the Coriolis force is detected by determining the difference in capacitance of both capacitors. The magnitude of the Coriolis force so detected is outputted as a value of an angular velocity $g(v)x round the X axis. Even in the presence of acceleration, the acceleration component can be cancelled by determining the difference.
(FR)Un pivot (130) est situé le long d'un axe Z sur un substrat à semi-conducteur (100), dont la surface supérieure s'étend le long d'un plan X-Y, et un rotor (200) en matériau diélectrique est accouplé au pivot. Ce rotor est supporté par le pivot de manière à pouvoir basculer et effectuer une rotation librement. Ce rotor comprend des poids (211, 212) situés sur ses circonférences et des stators (111, 115) en matériau conducteur sont situés autour des poids. Quand on applique aux stators une tension de courant alternatif possédant une fréquence prédéterminée, le rotor tourne tout en flottant sur la base du principe du moteur à induction. Quand le substrat (100) possède une vitesse angulaire $g(v)x autour de l'axe X, une force de Coriolis Fcz dans le sens positif de l'axe Z s'exerce sur le poids (211) passant à travers l'axe X avec une composante de vitesse dans le sens positif de l'axe Y, et, de ce fait, le poids s'éloigne du substrat. D'autre part, une force de Coriolis Fcz dans le sens négatif de l'axe Z s'exerce sur le poids (212) passant à travers l'axe X avec une composante de vitesse dans le sens négatif de l'axe Y et, de ce fait, le poids se rapproche du substrat. Des électrodes fixes (141B, 142B) sur le substrat et des électrodes mobiles 231, 232) sur le rotor coopèrent afin de constituer des condensateurs (C1, C2) et l'intensité de la force de Coriolis est détectée au moyen de la détermination de la différence de capacité des deux condensateurs. L'intensité de la force de Coriolis détectée de cette façon est sortie en tant que valeur d'une vitesse angulaire $g(v)x autour de l'axe X. Même en présence d'une accélération, la composante d'accélération peut être supprimée au moyen de la détermination de la différence.
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)