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1. (WO1998001378) SYSTEME DE TRANSFERT DE TRANCHES ET PROCEDE D'UTILISATION DUDIT SYSTEME
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/001378    N° de la demande internationale :    PCT/IB1997/001010
Date de publication : 15.01.1998 Date de dépôt international : 08.07.1997
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    30.01.1998    
CIB :
C23C 16/54 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : GAMMA PRECISION TECHNOLOGY, INC. [US/US]; 3446 De La Cruz Boulevard, Santa Clara, CA 95054 (US)
Inventeurs : TOSHIMA, Masato; (US)
Mandataire : BURSE, David, T.; Lyon & Lyon LLP, Suite 4700, 633 West Fifth Street, Los Angeles, CA 90071-2066 (US)
Données relatives à la priorité :
08/677,136 09.07.1996 US
  08.07.1997 US
Titre (EN) A WAFER TRANSFER SYSTEM AND METHOD OF USING THE SAME
(FR) SYSTEME DE TRANSFERT DE TRANCHES ET PROCEDE D'UTILISATION DUDIT SYSTEME
Abrégé : front page image
(EN)A wafer transfer system is described for transferring a wafer while at substantially the same time another wafer is being processed. The wafer transfer system comprises, in one embodiment, a transfer chamber having a wafer transfer blade, a load lock chamber coupled to the transfer chamber, an atmospheric robot for loading and unloading the wafer into the load lock chamber, and a slider coupled to the wafer transfer blade for moving the wafer transfer blade between the transfer chamber and the load lock chamber. According to a preferred embodiment, the slider utilizes a magnetic coupling mechanism. In a further embodiment, a device comprising a transfer chamber coupled to a plurality of plasma sources capable of simultaneously or sequentially providing different plasma structures within the transfer chamber, is described.
(FR)Système permettant de transférer une tranche tandis que pratiquement au même moment, une autre tranche est en cours de traitement. Ledit système de transfert comporte, dans un mode de réalisation, une chambre de transfert dotée d'une lame de transfert de tranches, un sas de chargement couplé à la chambre de transfert, un robot atmosphérique destiné à charger les tranches dans le sas de chargement et à les en décharger, et un élément coulissant couplé à la lame de transfert de tranches pour déplacer ladite lame entre la chambre de transfert et le sas de chargement. Dans un mode de réalisation préféré, l'élément coulissant utilise un mécanisme de couplage magnétique. Dans un autre mode de réalisation, un dispositif comporte une chambre de transfert couplée à une pluralité de sources de plasma capables de fournir simultanément ou en séquences différentes structures de plasma au sein de la chambre de transfert.
États désignés : AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CU, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, GH, HU, IL, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, SL, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, UZ, VN, YU, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (GH, KE, LS, MW, SD, SZ, UG, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)