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1. (WO1998000855) DISPOSITIF DE RETENUE REGLABLE DE CASSETTE POUR TRANCHES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1998/000855    N° de la demande internationale :    PCT/US1997/010577
Date de publication : 08.01.1998 Date de dépôt international : 17.06.1997
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    08.01.1998    
CIB :
H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : SPEEDFAM CORPORATION [US/US]; 305 North 54th Street, Chandler, AZ 85226 (US)
Inventeurs : EDLINGER, Erich; (US)
Mandataire : HILYARD, Chad, S.; Snell & Wilmer, One Arizona Center, 400 E. Van Buren Street, Phoenix, AZ 85004-0001 (US)
Données relatives à la priorité :
08/671,155 28.06.1996 US
Titre (EN) ADJUSTABLE WAFER CASSETTE STAND
(FR) DISPOSITIF DE RETENUE REGLABLE DE CASSETTE POUR TRANCHES
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates generally to a wafer cassette holding mechanism for use in processing wafers. The cassette holding mechanism has adjustable alignment posts to facilitate the cassette placement and an adjustment guide to guide placement of the cassette on the holding mechanism so that the holding mechanism may receive and securely hold in place a variety of different sizes and brands of cassettes.
(FR)Mécanisme de retenue de cassette pour tranches, utilisé dans le traitement de tranches. Ledit mécanisme possède des montants d'alignement réglables pour faciliter le positionnement de la cassette et un dispositif de guidage d'ajustement destiné à guider le positionnement de la cassette sur le mécanisme de retenue, si bien que ledit mécanisme peut recevoir et maintenir en place en toute sécurité des cassettes de tailles et de marques différentes.
États désignés : DE, GB, JP, KR, SG.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)