WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO1997012280) REDUCTION DES IONS METAUX DANS LES COUCHES SUPERIEURES ANTI-REFLECHISSANTES DES PHOTORESISTS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1997/012280    N° de la demande internationale :    PCT/US1996/015431
Date de publication : 03.04.1997 Date de dépôt international : 25.09.1996
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    09.04.1997    
CIB :
G03F 7/09 (2006.01)
Déposants : CLARIANT INTERNATIONAL, LTD. [CH/CH]; Rothausstrasse 61, CH-4132 Muttenz (CH)
Inventeurs : RAHMAN, M., Dalil; (US)
Mandataire : SAYKO, Andrew, F., Jr.; Clariant Corporation, 70 Meister Avenue, Sommerville, NJ 08876 (US)
Données relatives à la priorité :
08/537,199 29.09.1995 US
Titre (EN) METAL ION REDUCTION IN TOP ANTI-REFLECTIVE COATINGS FOR PHOTORESISTS
(FR) REDUCTION DES IONS METAUX DANS LES COUCHES SUPERIEURES ANTI-REFLECHISSANTES DES PHOTORESISTS
Abrégé : front page image
(EN)The present invention provides methods for producing top anti-reflective coating compositions having a very low level of metal ions, utilizing a specially washed and modified ion exchange resin. A method is also provided for producing semiconductor devices using such ion exchange treated top anti-reflective coating compositions.
(FR)La présente invention concerne un procédé mettant en ÷uvre, pour la production de couches supérieures anti-réfléchissantes pour photorésists à faible teneur en ions métaux, une résine échangeuse d'ions spécialement lavée, modifiée. L'invention concerne également un procédé de production de semi-conducteurs utilisant, pour les couches supérieures anti-réfléchissantes, de telles compositions traitées par échanges d'ions.
États désignés : CN, JP, KR, SG.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)