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1. (WO1997010614) AUGMENTATION DE LA DUREE DE VIE DE CONDUCTEURS METALLIQUES D'INTERCONNEXION PAR RAPPORT A L'ELECTROMIGRATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1997/010614    N° de la demande internationale :    PCT/US1996/013033
Date de publication : 20.03.1997 Date de dépôt international : 08.08.1996
CIB :
H01L 23/528 (2006.01), H01L 23/532 (2006.01)
Déposants : ADVANCED MICRO DEVICES, INC. [US/US]; One AMD Place, Mail Stop 68, Sunnyvale, CA 94088-3453 (US)
Inventeurs : BUI, Nguyen, Duc; (US).
WOLLESON, Donald, L.; (US)
Mandataire : RODDY, Richard, J.; Advanced Micro Devices, Inc., One AMD Place, Mail Stop 68, Sunnyvale, CA 94088-3453 (US)
Données relatives à la priorité :
08/526,189 11.09.1995 US
Titre (EN) ENHANCED ELECTROMIGRATION LIFETIME OF METAL INTERCONNECTION LINES
(FR) AUGMENTATION DE LA DUREE DE VIE DE CONDUCTEURS METALLIQUES D'INTERCONNEXION PAR RAPPORT A L'ELECTROMIGRATION
Abrégé : front page image
(EN)The electromigration lifetime of a metal interconnection line is increased by adjusting the length of the interconnection line or providing longitudinally spaced apart holes or vias to optimize the backflow potential capacity of the metal interconnection line. In addition, elongated slots are formed through the metal interconnection line so that the total width of metal across the interconnection line is selected for optimum electromigration lifetime in accordance with the Bamboo Effect for that metal.
(FR)Il est possible d'accroître la durée de vie d'un conducteur métallique d'interconnexion par rapport à l'électromigration, soit en modifiant la longueur du conducteur d'interconnexion, soit en perçant des trous ou traversées répartis longitudinalement pour optimiser la capacité de potentiel de reflux du conducteur métallique d'interconnexion; on peut de plus percer des fentes allongées le long du conducteur d'interconnexion de manière à ce que la largeur totale du métal transversalement au conducteur soit choisie pour donner la durée de vie optimale, par rapport à l'électro-migration, en tenant compte de l'effet bambou relatif audit métal.
États désignés : JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)