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1. (WO1997008541) PROCEDE ET DISPOSITIF DE DETECTION D'IMAGES OPTIQUES DE DEPLACEMENT THERMIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1997/008541    N° de la demande internationale :    PCT/JP1996/002356
Date de publication : 06.03.1997 Date de dépôt international : 23.08.1996
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    24.09.1996    
CIB :
G01B 21/08 (2006.01), G01N 25/72 (2006.01), G01N 29/24 (2006.01), G01N 29/34 (2006.01)
Déposants : HITACHI, LTD. [JP/JP]; 6, Kanda Surugadai 4-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 101 (JP)
Inventeurs : NAKATA, Toshihiko; (JP).
NINOMIYA, Takanori; (JP).
YOSHIMURA, Kazushi; (JP).
KOBAYASHI, Hilario, Haruomi; (JP)
Mandataire : OGAWA, Katsuo; Hitachi, Ltd., 5-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 100 (JP)
Données relatives à la priorité :
7/214424 23.08.1995 JP
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR DETECTING OPTICAL THERMAL DISPLACEMENT IMAGE
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE DETECTION D'IMAGES OPTIQUES DE DEPLACEMENT THERMIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A method and an apparatus for detecting an optical thermal displacement image to quickly obtain two-dimensional information about the surface of a sample, including shallow regions under the surface, by a simple construction. A plurality of measurement points on a sample are simultaneously excited by linear intensity-modulated light (11) and thermal expansion displacement occurring at each measurement point is simultaneously detected by utilizing light interference between linear probe light (18) and reference light (19). Accordingly, optical thermal displacement signals at a plurality of measurement points of the sample can be simultaneously detected, and two-dimensional information on the surface and the inside of the sample can be detected at a high speed. High speed measurement and high sensitivity can be simultaneously accomplished by using a common optical path interferometer.
(FR)La présente invention concerne un procédé et un équipement de détection d'images optiques de déplacement thermique qui permettent d'obtenir rapidement des renseignements à deux dimensions sur la surface d'un échantillon, y compris des régions peu profondes sous la surface, et ce grâce à un dispositif d'une réalisation simple. Un certain nombre de points de mesure, sur un échantillon, sont excités simultanément par une lumière linéaire (11) modulée en intensité, et le déplacement, dû à la dilatation, qui se produit en chaque point de mesure, est détecté simultanément au moyen d'interférences lumineuses entre la lumière (18) d'une sonde linéaire et la lumière de référence (19). Par conséquent, les signaux optiques de déplacement thermique en un certain nombre de points de mesure de l'échantillon peuvent être détectés simultanément, et des renseignements en deux dimensions, sur la surface et à l'intérieur de l'échantillon, peuvent être détectés à grande vitesse. La mesure à grande vitesse et la grande sensibilité peuvent être réalisées simultanément grâce à l'emploi d'un interféromètre à chemin optique commun.
États désignés : CA, CN, KR, SG.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)