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1. (WO1997008536) TECHNIQUE OPTIQUE ULTRA-RAPIDE POUR RECONNAITRE DES MATERIAUX MODIFIES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1997/008536    N° de la demande internationale :    PCT/US1996/012331
Date de publication : 06.03.1997 Date de dépôt international : 26.07.1996
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    19.08.1996    
CIB :
G01N 21/17 (2006.01)
Déposants : BROWN UNIVERSITY RESEARCH FOUNDATION [US/US]; P.O. Box 1949, Providence, RI 02912 (US)
Inventeurs : MARIS, Humphrey, J.; (US)
Mandataire : GREEN, Clarence, A.; Perman & Green, 425 Post Road, Fairfield, CT 06430 (US)
Données relatives à la priorité :
08/519,666 25.08.1995 US
Titre (EN) ULTRAFAST OPTICAL TECHNIQUE FOR THE CHARACTERIZATION OF ALTERED MATERIALS
(FR) TECHNIQUE OPTIQUE ULTRA-RAPIDE POUR RECONNAITRE DES MATERIAUX MODIFIES
Abrégé : front page image
(EN)An ion implant characterization system (10) includes a pulsed pump beam source (12) and a probe beam source (14) which are all operated by a controller (16). A plurality of mirrors (18, 20), and (22, 24) may be employed for directing the pump and probe pulses (12a and 14a) respectively to a focusing optical element shown as a lens (26). Lens (26) provides a focussed pulsed beam (28) to a surface (30a) of an ion implanted sample (30) that is being characterized. A beamblocker (32) is employed to stop any reflected portion (32a) of the pump beam while a photodetector (34) is employed to receive the reflected portion of the pulsed probe beam, the portion of the probe beam that reflects from the surface (30a) of the sample (30).
(FR)Système de reconnaissance d'une implantation d'ions (10), comprenant une source de faisceau pulsé de pompage (12) et une source de faisceau de sondage (14) qui sont commandées par un dispositif de commande (16). Une pluralité de miroirs (18) (20) et (22) (24) peut être utilisée afin de diriger les impulsions respectives de pompage et de sondage (12a) et (14a) vers un élément optique de focalisation, représenté sous forme de lentille (26). Cette lentille (26) émet un faisceau pulsé focalisé (28) sur une surface (30a) d'un échantillon à implantation d'ions (30) en cours d'analyse. Un bloqueur de faisceau (32) sert à arrêter toute partie réfléchie (32a) du faisceau de pompage, tandis qu'un photodétecteur (34) sert à recevoir la partie réfléchie du faisceau pulsé de sondage, à savoir, la partie du faisceau de sondage réfléchie par la surface (30a) de l'échantillon (30).
États désignés : DE, GB, JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)