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1. (WO1997003468) CONDENSATEURS DIELECTRIQUES ET LEUR PROCEDE DE FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1997/003468    N° de la demande internationale :    PCT/JP1996/001883
Date de publication : 30.01.1997 Date de dépôt international : 05.07.1996
CIB :
H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/314 (2006.01), H01L 21/3205 (2006.01), H01L 21/768 (2006.01)
Déposants : ROHM CO., LTD. [JP/JP]; 21, Saiin Mizosaki-cho, Ukyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 615 (JP) (Tous Sauf US).
NAKAMURA, Takashi [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : NAKAMURA, Takashi; (JP)
Mandataire : FURUTANI, Hideo; No. 2 Mizukawa-Building, 23-20, Esaka-cho 1-chome, Suita-city, Osaka 564 (JP)
Données relatives à la priorité :
7/172142 07.07.1995 JP
Titre (EN) DIELECTRIC CAPACITOR AND PROCESS FOR PREPARING THE SAME
(FR) CONDENSATEURS DIELECTRIQUES ET LEUR PROCEDE DE FABRICATION
Abrégé : front page image
(EN)A dielectric capacitor having excellent dielectric properties which comprises a silicon oxide layer (4), a lower electrode (12), a ferroelectric layer (8), and an upper electrode (15) formed on a silicon substrate (2). The lower electrode (12) is formed of palladium oxide, and so is the upper electrode (15). Palladium oxide prevents the permeation of oxygen through the dielectric layer (8), thus offering a dielectric capacitor having excellent dielectric properties.
(FR)L'invention porte sur un condensateur diélectrique présentant de très bonnes caractéristiques diélectriques comportant une couche d'oxyde de silicium (4), une électrode inférieure (12), une couche ferroélectrique (8) et une électrode supérieure (15) formée sur un substrat de silicium (2). L'électrode inférieure (12) est faite d'oxyde de palladium, de même que l'électrode supérieure (15). L'oxyde de palladium empêche la perméation de l'oxygène à travers la couche diélectrique (8), ce qui donne un condensateur diélectrique présentant d'excellentes propriétés diélectriques.
États désignés : CA, CN, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)