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1. (WO1997003381) COMPOSITION NON CORROSIVE DE DECOLLAGE DE PHOTORESIST
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1997/003381    N° de la demande internationale :    PCT/US1996/010845
Date de publication : 30.01.1997 Date de dépôt international : 24.06.1996
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    17.01.1997    
CIB :
G03F 7/42 (2006.01)
Déposants : OLIN MICROELECTRONIC CHEMICALS, INC. [US/US]; 350 Knotter Drive, P.O. Box 586, Cheshire, CT 06410-0586 (US)
Inventeurs : HONDA, Kenji; (US).
PERRY, Donald, F.; (US).
MAW, Taishih; (US)
Mandataire : SIMONS, William, A.; Wiggin & Dana, One Century Tower, New Haven, CT 06508-1832 (US)
Données relatives à la priorité :
499,808 07.07.1995 US
Titre (EN) NON-CORROSIVE PHOTORESIST STRIPPER COMPOSITION
(FR) COMPOSITION NON CORROSIVE DE DECOLLAGE DE PHOTORESIST
Abrégé : front page image
(EN)A non-corrosive positive photoresist stripper composition comprising: (a) a solvent selected from N-methyl-2-pyrrolidone, N-hydroxyethyl-2-pyrrolidone, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone dimethylsulfoxide, and admixtures thereof; (b) a corrosion inhibitor selected from tricine, bicine, (2-benzothiozolythio)succinic acid, and admixtures thereof; (c) optionally, an alkanolamine selected from diethyleneglycolamine, monoethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, and admixtures thereof; (d) optionally, water; and (e) optionally, a water-soluble surface active compound.
(FR)Composition non corrosive de décollage de photorésist positif comprenant: (a) un solvant sélectionné parmi N-méthyle-2-pyrrolidone, N-hydroxyéthyle-2-pyrrolidone, 1,3-diméthyle-2-imidazolidinone diméthylsulfoxyde et leurs mélanges; (b) un inhibiteur de corrosion sélectionné parmi tricine, bicine, acide (2-benzothiozolythio)succinique et leurs mélanges; (c) éventuellement une alcanolamine sélectionnée parmi diéthylèneglycolamine, monoéthanolamine, diéthanolamine, triéthanolamine et leurs mélanges; (d) éventuellement de l'eau; (e) éventuellement un composé tensioactif soluble dans l'eau.
États désignés : AL, AM, AT, AU, AZ, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CN, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, GB, GE, HU, IL, IS, JP, KE, KG, KP, KR, KZ, LK, LR, LS, LT, LU, LV, MD, MG, MK, MN, MW, MX, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SG, SI, SK, TJ, TM, TR, TT, UA, UG, UZ, VN.
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)