WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO1997003220) PROCEDE ET APPAREIL A RESEAU D'AIMANTS PERMANENTS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1997/003220    N° de la demande internationale :    PCT/US1996/011564
Date de publication : 30.01.1997 Date de dépôt international : 10.07.1996
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    07.02.1997    
CIB :
C23C 14/35 (2006.01), H01J 37/34 (2006.01)
Déposants : CVC PRODUCTS, INC. [US/US]; 525 Lee Road, Rochester, NY 14603 (US)
Inventeurs : HEIMANSON, Dorian; (US).
MOSLEHI, Mehrdad, M.; (US).
SPRONZ, Paul, E.; (US).
OMSTEAD, Thomas, R.; (US)
Mandataire : CHIAVIELLO, Robert, M., Jr.; Baker & Botts, L.L.P., 2001 Ross Avenue, Dallas, TX 75201-2980 (US)
Données relatives à la priorité :
60/000,990 10.07.1995 US
Titre (EN) PERMANENT MAGNET ARRAY APPARATUS AND METHOD
(FR) PROCEDE ET APPAREIL A RESEAU D'AIMANTS PERMANENTS
Abrégé : front page image
(EN)A magnetron sputtering system (10) is disclosed that includes a high magnetic flux magnetron assembly (12) moveably coupled to rotate about an axis (14). The assembly comprises an array of permanent magnet assemblies (12). Each permanent magnet assembly (12) comprises a first portion magnetized substantially perpendicular to the target (16), a second portion magnetized substantially perpendicular to the target (16) and opposite the first portion, and a third portion inverted between the first and the second portions, the third portion magnetized substantially parallel to the target (16).
(FR)Système de pulvérisation au magnétron (10) comprenant un ensemble magnétron (12) à flux magnétique élevé monté rotatif autour d'un axe (14). L'ensemble comporte un réseau d'ensembles (12) à aimants permanents dont chacun (12) comporte une première partie aimantée dans un sens sensiblement perpendiculaire à la cible (16), une deuxième partie opposée à la première et aimantée dans un sens sensiblement perpendiculaire à la cible (16), et une troisième partie inversée entre les première et deuxième parties, et aimantée dans un sens sensiblement parallèle à la cible (16).
États désignés : DE, GB, JP.
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)