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1. (WO1997002917) PROCEDE DE TRAITEMENT DE GRANDE EFFICACITE PAR REACTION RADICALAIRE HAUTE DENSITE AVEC UTILISATION D'UNE ELECTRODE ROTATIVE, APPAREIL ASSOCIE ET ELECTRODE ROTATIVE UTILISEE A CETTE FIN
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1997/002917    N° de la demande internationale :    PCT/JP1996/001953
Date de publication : 30.01.1997 Date de dépôt international : 11.07.1996
CIB :
B23H 1/00 (2006.01), B23H 7/12 (2006.01), H05H 1/24 (2006.01)
Déposants : RESEARCH DEVELOPMENT CORPORATION OF JAPAN [JP/JP]; 1-8, Honmachi 4-chome, Kawaguchi-shi, Saitama 332 (JP) (Tous Sauf US).
MORI, Yuzo [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
ISHIKAWA, Toshio [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : MORI, Yuzo; (JP).
ISHIKAWA, Toshio; (JP)
Mandataire : YANAGINO, Takao; Noskmard Building, 15-5, Miyahara 1-chome, Yodogawa-ku, Osaka-shi, Osaka 532 (JP)
Données relatives à la priorité :
7/176476 12.07.1995 JP
Titre (EN) HIGHLY EFFICIENT PROCESSING METHOD BASED ON HIGH DENSITY RADICAL REACTION AND USING ROTARY ELECTRODE, APPARATUS THEREFOR AND ROTATING ELECTRODE USED THEREFOR
(FR) PROCEDE DE TRAITEMENT DE GRANDE EFFICACITE PAR REACTION RADICALAIRE HAUTE DENSITE AVEC UTILISATION D'UNE ELECTRODE ROTATIVE, APPAREIL ASSOCIE ET ELECTRODE ROTATIVE UTILISEE A CETTE FIN
Abrégé : front page image
(EN)A highly efficient processing method based on a high density radical reaction and using a rotating electrode, comprising supplying a large amount of a reaction gas to a processing gap between a processing electrode and an object being processed in a controlled state, increasing a limit value of an input power to increase a density of a neutral radical to sharply enhance a processing speed 10 to 100 times, preventing arc discharge and attaining thermal stability, an apparatus therefor and a rotating electrode used therefor. The method comprises arranging an endless processing electrode and an object being processed in a gas atmosphere containing a reaction gas and an inert gas with a processing gap formed, supplying a high-frequency electric power to the processing electrode, rotating the processing electrode at high speeds to move a surface of the processing electrode relative to that portion of the object being processed, which is being processed, at high speeds and to cause the gases to be entrained at the surface of the processing electrode to thereby form a gas flow crossing the processing gap, and vaporizing and removing a volatile matter produced by a radical reaction between a neutral radical produced in a plasma generated in the processing gap and atoms or molecules, which constitute the object being processed, to facilitate processing.
(FR)La présente invention concerne un procédé de traitement de grande efficacité se basant sur une réaction radicalaire haute densité et sur l'utilisation d'une électrode rotative, comprenant les étapes suivantes: apport d'une grande quantité d'un gaz de réaction dans un intervalle de traitement entre une électrode de traitement et un objet en cours de traitement en un état régulé; accroissement de la valeur limite d'une énergie d'entrée jusqu'à ce que la densité d'un radical neutre soit augmentée et multiplie fortement, de 10 à 100 fois, la vitesse de traitement; prévention de la formation d'un arc de décharge et établissement d'une stabilité thermique. L'invention concerne également un appareil destiné à ce procédé ainsi que l'électrode associée. Le procédé consiste à disposer une électrode de traitement sans fin et un objet à traiter dans une atmosphère gazeuse contenant un gaz de réaction et un gaz inerte, de sorte qu'un intervalle de traitement soit formé, à appliquer de l'électricité haute fréquence à l'électrode de traitement, à faire tourner à grande vitesse l'électrode de traitement de façon à déplacer à grande vitesse une surface de l'électrode de traitement par rapport à la partie de l'objet en cours de traitement, à provoquer l'entraînement des gaz sur la surface de l'électrode de traitement de façon à former un flux gazeux traversant l'intervalle de traitement, et à vaporiser et éliminer la matière volatile produite par une réaction radicalaire entre un radical neutre produit dans un plasma généré dans l'intervalle de traitement et les atomes ou molécules qui constituent l'objet en cours de traitement, et ce, afin de faciliter le traitement.
États désignés : US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)