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1. (WO1997002466) CAPTEUR OPTIQUE DE DISTANCE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1997/002466    N° de la demande internationale :    PCT/DE1996/001081
Date de publication : 23.01.1997 Date de dépôt international : 19.06.1996
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    29.01.1997    
CIB :
G01B 11/02 (2006.01)
Déposants : SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2, D-80333 München (DE) (Tous Sauf US).
DOEMENS, Günter [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
SCHICK, Anton [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
KÖLLENSPERGER, Paul [IT/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : DOEMENS, Günter; (DE).
SCHICK, Anton; (DE).
KÖLLENSPERGER, Paul; (DE)
Données relatives à la priorité :
195 24 022.7 30.06.1995 DE
196 08 468.7 01.03.1996 DE
Titre (DE) OPTISCHER ABSTANDSSENSOR
(EN) OPTICAL DISTANCE SENSOR
(FR) CAPTEUR OPTIQUE DE DISTANCE
Abrégé : front page image
(DE)Zur dreidimensionalen Erfassung von Oberflächen werden neben Triangulationsverfahren Meßsysteme nach dem konfokalen Prinzip eingesetzt. Diese weisen eine höhere Auflösung, jedoch eine unter Umständen niedrigere Datenrate auf. Es wird ein optischer Abstandssensor beschrieben, der auf der Basis des konfokalen Mikroskopes eine automatische Prüfung von Oberflächen in einer für einen Fertigungsprozeß annehmbaren Zeit ausführt. Dabei wird anstelle eines sehr aufwendig zu erzeugenden scannenden Strahles ein zeilenförmiges System von korrespondierenden Lichtquellen (2) und Fotoempfängern (5) eingesetzt. Die optische Wegstrecke zwischen Empfangseinheit (4) und Abbildungsoptik wird zur Auflösung von Höhenwerten variiert, wobei ein Lichtintensitäts-Maximum über einen Peakdetektor erfaßt wird.
(EN)Measurement systems that work based on the confocal principle are used besides triangulation processes to three-dimensionally sense surfaces. These measurement systems have a higher resolution but in certain circumstances lower data rates. An optical distance sensor can automatically inspect surfaces by means of a confocal microscope at a speed that is acceptable for manufacturing processes. Instead of a scanning beam that is costly to generate, a system of linear rows of corresponding light sources (2) and photo-receivers (5) is used. The optical path between the receiving unit (4) and the projection lens is varied to achieve the resolution of the surface relief in the vertical direction and a light intensity maximum is detected by a peak detector.
(FR)Afin de saisir des surfaces en trois dimensions, on utilise, outre un procédé de triangulation, des systèmes de mesure fonctionnant selon le principe confocal, qui ont une plus haute résolution mais dans certaines circonstances un débit de données plus bas. L'invention concerne un capteur optique de distance qui à l'aide d'un microscope confocal permet de contrôler automatiquement des surfaces à une vitesse acceptable pendant un procédé de fabrication. On utilise à cet effet un système de rangées linéaires de sources de lumière (2) et de photorécepteurs (5) en correspondance au lieu d'un faisceau d'exploration coûteux à générer. Le trajet optique entre l'unité de réception (4) et l'optique de reproduction varie afin de permettre la résolution du relief de la surface dans le sens de la hauteur, et une intensité maximale de lumière est détectée par un détecteur de crêtes.
États désignés : JP, KR, SG, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FI, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)