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1. WO1996022515 - APPAREIL DESTINE A LA DETECTION DE LA RUPTURE DU DIAPHRAGME D'UN CAPTEUR DE PRESSION

Numéro de publication WO/1996/022515
Date de publication 25.07.1996
N° de la demande internationale PCT/US1996/000764
Date du dépôt international 19.01.1996
CIB
G01L 9/00 2006.01
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
LMESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
9Mesure de la pression permanente, ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent par des éléments électriques ou magnétiques sensibles à la pression; Transmission ou indication par des moyens électriques ou magnétiques du déplacement des éléments mécaniques sensibles à la pression, utilisés pour mesurer la pression permanente ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent
CPC
G01L 19/0672
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
19Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
06Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
0672Leakage or rupture protection or detection
G01L 9/0054
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
9Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements
0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
0051using variations in ohmic resistance
0052of piezoresistive elements
0054integral with a semiconducting diaphragm
Déposants
  • HONEYWELL INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • WILDA, Douglas, W.
  • GLENN, Max, C.
Mandataires
  • SAPELLI, Arthur, A.
Données relatives à la priorité
08/375,43719.01.1995US
Langue de publication anglais (EN)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) APPARATUS FOR DETECTION OF A DIAPHRAGM RUPTURE IN A PRESSURE SENSOR
(FR) APPAREIL DESTINE A LA DETECTION DE LA RUPTURE DU DIAPHRAGME D'UN CAPTEUR DE PRESSION
Abrégé
(EN)
A semiconductor pressure transducer comprises a silicon die having a topside and a bottom side. The silicon die further has a cavity in the bottom side thereby forming a diaphragm. Four piezoresistive elements are disposed on the topside of the silicon die on a periphery of the diaphragm and connected via metalized conductors disposed on the silicon die in the form of a Wheatstone bridge. A plurality of bonding pads disposed on the topside of the silicon die provides external access to the Wheatstone bridge circuit. A diagnostic conductor is disposed on the topside of the silicon die such that the periphery of the diaphragm is crossed, the diagnostic conductor being connected to corresponding bonding pads at each of the diagnostic conductor. Thus, when the diaphragm ruptures, the diagnostic conductor ruptures thereby providing a positive indication of the rupture of the diaphragm by external circuitry in which the diagnostic conductor is used.
(FR)
Transducteur de pression de semi-conducteur qui comprend une puce de silicium ayant une face supérieure et une face inférieure. Ladite puce de silicium possède en outre sur sa face inférieure une cavité formant un diaphragme. Quatre éléments piézorésistifs sons disposés sur la face supérieure de la puce de silicium sur une périphérie du diaphragme et sont connectées via des conducteurs métallisés disposés sur la puce de silicium sous forme d'un pont de Wheatstone. Une pluralité de plots de connexion placés sur la face supérieure de la puce de silicium fournissent un accès externe au circuit à pont de Wheatstone. Un conducteur diagnostic est placé sur la partie supérieure de la puce de silicium de manière à traverser la périphérie du diaphragme, ledit conducteur étant connecté à des plots de connexions correspondants à chacune de ses extrémités. Par conséquent, lorsque le diaphragme se rompt, le conduteur diagnostic se rompt également, fournissant ainsi une indication claire de la rupture du diaphragme grâce au circuit externe dans lequel le conducteur diagnostic est utilisé.
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