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1. (WO1996011339) POMPE A MEMBRANE PIEZO-ELECTRIQUE MICROMINIATURE SERVANT A EFFECTUER LE POMPAGE DE GAZ A BASSE PRESSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1996/011339    N° de la demande internationale :    PCT/US1995/011907
Date de publication : 18.04.1996 Date de dépôt international : 21.09.1995
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    03.05.1996    
CIB :
F04B 43/04 (2006.01)
Déposants : NORTHROP GRUMMAN CORPORATION [US/US]; 1745 A West Nursery Road, Linthicum, MD 21090 (US)
Inventeurs : YOUNG, Robert; (US).
FREIDHOFF, Carl, B.; (US).
POLLA, Dennis, L.; (US).
SCHILLER, Peter, J.; (US)
Mandataire : SUTCLIFF, Walter, G.; Northrop Grumman Corporation, Electronic Sensors & Systems Division, 1745 A West Nursery Road, Linthicum, MD 21090 (US).
GATES, William, L.; Birch, Stewart, Kolasch & Birch, P.O. Box 747, Falls Church, VA 22040-0747 (US)
Données relatives à la priorité :
08/320,614 07.10.1994 US
Titre (EN) MICRO-MINIATURE PIEZOELECTRIC DIAPHRAGM PUMP FOR THE LOW PRESSURE PUMPING OF GASES
(FR) POMPE A MEMBRANE PIEZO-ELECTRIQUE MICROMINIATURE SERVANT A EFFECTUER LE POMPAGE DE GAZ A BASSE PRESSION
Abrégé : front page image
(EN)A pump is provided for use in a solid state mass-spectrograph for analyzing a sample gas. The spectrograph is formed from a semiconductor substrate having a cavity with an inlet, gas ionizing section adjacent the inlet, a mass filter section adjacent the gas ionizing section and a detector section adjacent the mass filter section. The pump is connected to each of the sections of said cavity and evacuates the cavity and draws the sample gas into the cavity. The pump includes at least one piezoelectrically-actuated diaphragm. Upon piezoelectrical actuation, the diaphragm accomplishes a suction stroke which evacuates the cavity and draws the sample gas into the cavity. Preferably, the diaphragm is formed from a pair of electrodes sandwiching a piezoelectric layer.
(FR)L'invention concerne une pompe conçue pour s'utiliser dans un spectrographe de masse à semi-conducteurs, afin d'analyser un échantillon de gaz. Le spectrographe est constitué par un substrat à semi-conducteurs possédant une cavité pourvue d'une entrée, d'une section d'ionisation de gaz contiguë à l'entrée, d'une section de filtre de masse contiguë à la section d'ionisation de gaz et d'une section de détection contiguë à la section de filtre de masse. La pompe est accouplée à chacune des sections de ladite cavité, fait le vide dans la cavité et attire l'échantillon de gaz vers l'intérieur de ladite cavité. La pompe comprend au moins une membrane excitée par une action piézo-électrique. Sous l'effet de cette action, la membrane effectue une course d'aspiration qui évacue la cavité et aspire l'échantillon de gaz dans ladite cavité. La membrane est, de préférence, constituée par une paire d'électrodes qui prennent en sandwich une couche piézo-électrique.
États désignés : CA, CN, JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)