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1. WO1995022045 - DETECTEUR PERFECTIONNE DE GAZ POUR SPECTROMETRIE D'ABSORPTION NON DISPERSIVE DANS L'INFRA-ROUGE

Numéro de publication WO/1995/022045
Date de publication 17.08.1995
N° de la demande internationale PCT/US1995/001229
Date du dépôt international 30.01.1995
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 07.09.1995
CIB
G01N 21/03 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
01Dispositions ou appareils pour faciliter la recherche optique
03Détails de structure des cuvettes
G01N 21/35 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
NRECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
17Systèmes dans lesquels la lumière incidente est modifiée suivant les propriétés du matériau examiné
25Couleur; Propriétés spectrales, c. à d. comparaison de l'effet du matériau sur la lumière pour plusieurs longueurs d'ondes ou plusieurs bandes de longueurs d'ondes différentes
31en recherchant l'effet relatif du matériau pour les longueurs d'ondes caractéristiques d'éléments ou de molécules spécifiques, p.ex. spectrométrie d'absorption atomique
35en utilisant la lumière infrarouge
CPC
G01N 21/03
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
03Cuvette constructions
G01N 21/0303
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
01Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
03Cuvette constructions
0303Optical path conditioning in cuvettes, e.g. windows; adapted optical elements or systems; path modifying or adjustment
G01N 21/3504
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
25Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
31Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
35using infra-red light
3504for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
G01N 21/61
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
59Transmissivity
61Non-dispersive gas analysers
Déposants
  • TELAIRE SYSTEMS, INC. [US]/[US]
Inventeurs
  • WONG, Jacob, Y.
Mandataires
  • RANDALL, David, A.
Données relatives à la priorité
08/195,52314.02.1994US
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) IMPROVED NDIR GAS SENSOR
(FR) DETECTEUR PERFECTIONNE DE GAZ POUR SPECTROMETRIE D'ABSORPTION NON DISPERSIVE DANS L'INFRA-ROUGE
Abrégé
(EN) A miniaturized NDIR gas sensor is manufactured using semiconductor micromachining techniques from a semiconductor material such as SI or GaAS. The NDIR gas sensor (28) includes an optical waveguide (30), a light source (32) at one end of the waveguide, at least one light detector (36) at the end of the waveguide opposite the light source, a diffusion type gas sample chamber (34) formed within the waveguide and interposed in the optical path between the light source and light detector so that the light source and light detector are thermally isolated from the gas sample by windows (38, 39), and a separate bandpass filter (52) interposed between the light source and each light detector. Because the NDIR sensor is fabricated out of a semiconductor material, the source driver (76) and signal processing electronics (78) may be added directly to the sensor using integrated circuit fabrication techniques. Particles and smoke and dust may be kept out of the sample chamber by application of a gas permeable membrane (56) over apertures (54) in the sample chamber walls.
(FR) Un détecteur miniaturisé de gaz pour spectrométrie d'absorption non dispersive dans l'infra-rouge est fabriqué à l'aide de techniques de micro-usinage à semi-conducteurs, à partir d'un matériau semi-conducteur tel que le Si ou le GaAs. Ce détecteur (28) comprend un guide d'ondes optique (30), une source lumineuse (32) à une extrémité du guide d'ondes, au moins un détecteur de lumière (36) à l'extrémité du guide d'ondes opposée à la source lumineuse, un chambre de prélèvement de gaz de type à diffusion (34) formée à l'intérieur du guide d'ondes et interposée dans la trajectoire optique entre la source lumineuse et le détecteur de lumière de sorte que la source lumineuse et le détecteur de lumière soient thermiquement isolés de l'échantillon de gaz par des fenêtres (38, 39), et un filtre passe-bande séparé (52) interposé entre la source lumineuse et chaque détecteur de lumière. Etant donné que le détecteur est fabriqué à partir d'un matériau semi-conducteur, le dispositif d'attaque de la source (76) et le circuit électronique de traitement des signaux (78) peuvent être ajoutés directement au détecteur, par des techniques de fabrication de circuits intégrés. Les particules, la fumée et les poussières peuvent être maintenues hors de la chambre de prélèvement par l'application d'une membrane (56), perméable aux gaz, sur des ouvertures (54) ménagées dans les parois de la chambre de prélèvement.
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