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1. WO1995020774 - MIROIR GALVANOPLASTIQUE DE TYPE PLAN PRESENTANT UNE FONCTION DE DETECTION ET PROCEDE DE PRODUCTION DE CELUI-CI

Numéro de publication WO/1995/020774
Date de publication 03.08.1995
N° de la demande internationale PCT/JP1995/000066
Date du dépôt international 23.01.1995
CIB
G02B 26/08 2006.1
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
08pour commander la direction de la lumière
G02B 26/10 2006.1
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
26Dispositifs ou systèmes optiques utilisant des éléments optiques mobiles ou déformables pour commander l'intensité, la couleur, la phase, la polarisation ou la direction de la lumière, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation
08pour commander la direction de la lumière
10Systèmes de balayage
CPC
G02B 26/0816
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
0816by means of one or more reflecting elements
G02B 26/0841
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
0816by means of one or more reflecting elements
0833the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
0841the reflecting element being moved or deformed by electrostatic means
G02B 26/10
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
10Scanning systems
G02B 26/105
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
26Optical devices or arrangements using movable or deformable optical elements for controlling the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light, e.g. switching, gating, modulating
08for controlling the direction of light
10Scanning systems
105with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
Déposants
  • THE NIPPON SIGNAL CO., LTD. [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • ASADA, Norihiro [JP]/[JP] (UsOnly)
  • ESASHI, Masayoshi [JP]/[JP]
Inventeurs
  • ASADA, Norihiro
  • ESASHI, Masayoshi
Mandataires
  • SASAJIMA, Fujio
Données relatives à la priorité
6/982431.01.1994JP
Langue de publication Japonais (ja)
Langue de dépôt japonais (JA)
États désignés
Titre
(EN) PLANAR TYPE GALVANOMIRROR HAVING A DISPLACEMENT DETECTING FUNCTION AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
(FR) MIROIR GALVANOPLASTIQUE DE TYPE PLAN PRESENTANT UNE FONCTION DE DETECTION ET PROCEDE DE PRODUCTION DE CELUI-CI
Abrégé
(EN) The present invention relates to a small-sized thin galvanomirror for detecting the displacement angle of a mirror, which is produced by a semiconductor process. By using a semiconductor process, a movable plate (5) and a torsion bar (6) for supporting this movable plate (5) are integrally formed on a silicon substrate (2), and a planar coil (7) and a total reflection mirror (8) are formed on the upper surface of the movable plate (5). Permanent magnets (10A, 10B) and (11A, 11B) for generating magnetic fields are fixedly disposed on the planar coil (7) to thereby control the amount and direction of current to be conducted to the planar coil (7) so as to variably control the swinging angle of the movable plate (5) through the balance between a magnetic force generated and a torsional force by the torsion bar (6). Furthermore, detecting coils (12A, 12B) are provided below the movable plate (5) to thereby cause a detection current to flow to the planar coil (7) by superposing it on a driving current, whereby the detection of a displacement angle of the mirror is performed through the relative inductance variation between the planar coil (7) and the detection coils (12A, 12B) based on this detection current.
(FR) L'invention concerne un miroir galvanoplastique mince, de petite taille, pour détecter l'angle de déplacement d'un miroir qui est produit par un procédé faisant appel à des semiconducteurs. Une plaque mobile (5) et une barre de torsion (6) pour supporter cette plaque mobile (5) sont entièrement formées, selon ce procédé, sur un substrat de silicium (2), et une bobine plane (7) et un miroir de réflexion totale (8) sont formés sur la surface supérieure de cette plaque mobile. Des aimants permanents (10A, 10B) et (11A, 11B) pour générer des champs magnétiques sont placés, de manière fixe, sur la bobine plane (7) pour contrôler la quantité et le sens du courant à conduire vers la bobine plane (7), pour contrôler de manière variable, l'angle d'oscillation de la plaque mobile (5) par l'équilibre entre une force magnétique générée et une force de torsion exercée par la barre de torsion (6). En outre, des bobines de détection (12A, 12B) sont prévues au-dessous de la plaque mobile (5) pour provoquer ainsi un courant de détection qui circule vers la bobine plane (7) en étant superposé sur un courant d'entraînement. La détection d'un angle de déplacement du miroir est ainsi effectuée par la variation d'inductance relative entre la bobine plane (7) et les bobines de détection (12A, 12B), sur la base de ce courant de détection.
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