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1. (WO1994016294) METROLOGIE NANOMETRIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1994/016294    N° de la demande internationale :    PCT/GB1994/000039
Date de publication : 21.07.1994 Date de dépôt international : 10.01.1994
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    20.08.1994    
CIB :
G01B 9/02 (2006.01), G01D 5/48 (2006.01), G01J 9/04 (2006.01)
Déposants : THE SECRETARY OF STATE FOR DEFENCE IN HER BRITANNIC MAJESTY'S GOVERNMENT OF THE UNITED KINGDOM OF GREAT BRITAIN AND NORTHERN IRELAND [GB/GB]; Defence Research Agency, Farnborough, Hampshire GU14 6TD (GB) (Tous Sauf US).
LEWIS, Meirion, Francis [GB/GB]; (GB) (US Seulement)
Inventeurs : LEWIS, Meirion, Francis; (GB)
Mandataire : BECKHAM, Robert, William; Intellectual Property Department, R69 Building, DRA Farnborough, Hampshire GU14 6TD (GB)
Données relatives à la priorité :
9300556.9 13.01.1993 GB
Titre (EN) NANOMETER METROLOGY
(FR) METROLOGIE NANOMETRIQUE
Abrégé : front page image
(EN)Apparatus for measuring displacements of an object to nanometer accuracy, particularly for use in fabricating modern signal processing components. This comprises a radio frequency source for a primary electrical signal (50), a transducer (24) for generating an intermediate signal of lesser wavelength at least partly therefrom, a phase shifting means (56) interactive with the intermediate signal and associated with the object in such a way that a displacement of the object causes the phase shifting means (56) to change the path length of the intermediate signal by an amount directly related to the displacement, a phase transference means (60) for generating a secondary electrical signal using, at least partly, the intermediate signal so that the phase of the intermediate signal is transferred to the secondary signal, and a phase detector (62) for measuring the change of phase of the secondary signal relative to the primary on displacement of the object.
(FR)Appareil permettant de mesurer les déplacements d'un objet avec une précision nanométrique, destiné plus particulièrement à être utilisé dans la fabrication de nouveaux composants de traitement du signal. Cet appareil comprend une source de hautes fréquences destinée à produire un premier signal électrique (50), un transducteur (24) qui génère partiellement à partir du premier signal un signal intermédiaire d'une longueur d'onde inférieure, un système (56) de décalage de phase qui interagit avec le signal intermédiaire et qui est associé à l'objet de telle manière qu'un déplacement de l'objet entraîne le système (56) de décalage de phase à changer la longueur du chemin du signal intermédiaire d'une quantité directement liée au déplacement, un système (60) de transfert de phase qui génère un deuxième signal électrique au moins en partie à l'aide du signal intermédiaire de sorte que la phase du signal intermédiaire soit transférée sur le deuxième signal, et un détecteur (62) de phase qui mesure le changement de phase du deuxième signal par rapport au premier signal lors du déplacement de l'objet.
États désignés : CN, GB, JP, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)