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1. (WO1994016275) PROCEDE ET APPAREIL DE DISTRIBUTION DE GAZ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1994/016275    N° de la demande internationale :    PCT/US1994/000299
Date de publication : 21.07.1994 Date de dépôt international : 07.01.1994
CIB :
C23C 16/448 (2006.01), C30B 25/18 (2006.01)
Déposants : BANDGAP TECHNOLOGY CORPORATION [US/US]; 325 Interlocken Parkway, Broomfield, CO 80021 (US)
Inventeurs : KRAFFT, Terry; (US)
Mandataire : MORRIS, Frank, E.; Pennie & Edmonds, 1155 Avenue of the Americas, New York, NY 10036 (US)
Données relatives à la priorité :
002,444 08.01.1993 US
Titre (EN) METHOD AND APPARATUS FOR DELIVERING GAS
(FR) PROCEDE ET APPAREIL DE DISTRIBUTION DE GAZ
Abrégé : front page image
(EN)Method and apparatus for generating and delivering a gas that contains vapor produced by subliming a solid for use in chemical vapor deposition processes such as Metal Organic Molecular Beam Epitaxy (MOMBE) and Organometallic Vapor Phase Epitaxy (OMVPE). The method includes generating a gas (231) saturated with the vapor and subsequently diluting the gas with an inert gas (238) to obtain a uniform non-saturated gas (258). The apparatus includes a vessel (200) for containing a sublimable solid (208), a heater (210) for maintaining the vessel at a desired temperature, tubes and valves for introducing a gas into the vessel (215, 220) and for discharging a gas (225, 230) that is saturated with the vapor of the solid from the vessel, and a tube and a valve for diluting (235, 240) a gas discharged from the vessel.
(FR)L'invention concerne un procédé et un appareil de production et de distribution d'un gaz contenant de la vapeur produite par sublimation d'un solide destiné à être utilisé dans des procédés de dépôt en phase vapeur par procédé chimique tels que l'épitaxie par faisceaux moléculaires de mélanges organométalliques et l'épitaxie en phase vapeur aux organométalliques. Le procédé consiste à produire un gaz (231) saturé de la vapeur et à le diluer avec un gaz inerte (238) de manière à obtenir un gaz homogène insaturé (258). L'appareil est constitué d'un récipient (200) destiné à contenir un solide sublimable (208), d'un dispositif de chauffage (210) conçu pour maintenir le récipient à la température voulue, de tubes et de vannes conçues pour introduire un gaz dans le récipient (215, 220) et décharger un gaz (225, 230) saturé de la vapeur du solide en provenance dudit récipient, d'un tube et d'une vanne (235, 240) servant à diluer un gaz déchargé du récipient.
États désignés : AU, BB, BG, BR, BY, CA, CN, CZ, FI, HU, JP, KR, KZ, LK, LV, MG, MN, MW, NO, NZ, PL, RO, RU, SD, SK, UA, UZ.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)