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1. (WO1994014185) PROCEDE ET APPAREIL POUR MACHINE DE TRAITEMENT DE TRANCHES A MODULE FRONTAL AVANT SOUS VIDE___________________________________
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1994/014185    N° de la demande internationale :    PCT/US1993/011765
Date de publication : 23.06.1994 Date de dépôt international : 03.12.1993
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    28.06.1994    
CIB :
H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : MATERIALS RESEARCH CORPORATION [US/US]; Route 303, Orangeburg, NY 10962 (US)
Inventeurs : FLEGAL, Christopher; (US)
Mandataire : JORDAN, Joseph, R.; Wood, Herron & Evans, 2700 Carew Tower, Cincinnati, OH 45202 (US).
LLOYD WISE, TREGEAR & CO.; Norman House, 105-109 Strand, London WC2R OAE (GB)
Données relatives à la priorité :
07/985,300 04.12.1992 US
Titre (EN) WAFER PROCESSING MACHINE VACUUM FRONT END METHOD AND APPARATUS
(FR) PROCEDE ET APPAREIL POUR MACHINE DE TRAITEMENT DE TRANCHES A MODULE FRONTAL AVANT SOUS VIDE___________________________________
Abrégé : front page image
(EN)A carrousel type wafer processing machine in which wafers are held in vertical orientations in holders on a rotatable plate and sequenced through a plurality of processing stations for processing, such as by the application of a sputtered film thereto, is provided with a vacuum front end module that transfers wafers between cassette modules in which the wafers are horizontally disposed and a loading and unloading station of the processing machine, through a transfer chamber. The transfer chamber includes a wafer transfer arm, an aligning station, a preheating and degassing station, a cooling station preferably combined with the preheating station, and an uprighting station from which wafers are exchanged with the processing machine. The arm moves unprocessed wafers individually from a cassette module to the aligner, then to the preheating station, then to the uprighting station. The arm also moves processed wafers from the uprighting station, to the cooling station and to a cassette module. Preferably, one cassette module is being vented, reloaded or replaced, and pumped to a vacuum while the wafers of the other are being cycled through the processing machine.
(FR)Machine de traitement de tranches du type carrousel dans laquelle des tranches sont maintenues suivant des orientations verticales dans des supports situés sur un plateau de traitement rotatif et passent de manière séquentielle par une pluralité d'unités qui effectuent un traitement tel que l'application par pulvérisation cathodique d'un film sur lesdites tranches. Cette machine est équipée d'un module frontal sous vide qui transfère les tranches entre les modules de cassettes dans lesquels les tranches sont placées horizontalement et une unité de chargement et de déchargement de la machine de traitement, lesdites tranches passant par une chambre de transfert. Cette chambre de transfert comporte un bras de transfert de tranche, une unité d'alignement, une unité de préchauffage et de dégazage, une unité de refroidissement qui est préférablement associée à l'unité de préchauffage et une unité élévatrice à partir de laquelle les tranches sont transférées vers la machine de traitement. Le bras déplace individuellement les tranches non traitées d'un module de cassette jusqu'au dispositif d'alignement, puis jusqu'à l'unité de préchauffage et enfin jusqu'à l'unité élévatrice. Le bras déplace également les tranches traitées depuis l'unité élévatrice jusqu'à l'unité de refroidissement et jusqu'à un module de cassette. De préférence un module de cassette est déchargé, rechargé ou remplacé et mis sous vide pendant que les tranches de l'autre module suivent le cycle dans la machine de traitement.
États désignés : AT, AU, BB, BG, BR, BY, CA, CH, CZ, DE, DK, ES, FI, GB, HU, JP, KP, KR, KZ, LK, LU, LV, MG, MN, MW, NL, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SK, UA, VN.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)