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1. (WO1994013007) TECHNIQUES DE BALAYAGE APPLIQUEES AUX DISPOSITIFS A FAISCEAUX DE PARTICULES ET TENDANT A REDUIRE LES EFFETS DE L'ACCUMULATION DE CHARGE SUPERFICIELLE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1994/013007    N° de la demande internationale :    PCT/US1993/011662
Date de publication : 09.06.1994 Date de dépôt international : 02.12.1993
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    14.04.1994    
CIB :
H01J 37/28 (2006.01)
Déposants : METROLOGIX [US/US]; Suite 104, 3255-2 Scott Boulevard, Santa Clara, CA 95034 (US)
Inventeurs : MONAHAN, Kevin, M.; (US)
Mandataire : KREBS, Robert, E.; Burns, Doane, Swecker & Mathis, George Mason Building, Washington & Prince Streets, P.O. Box 1404, Alexandria, VA 22313-1404 (US)
Données relatives à la priorité :
07/984,932 03.12.1992 US
Titre (EN) SCANNING TECHNIQUES IN PARTICLE BEAM DEVICES FOR REDUCING THE EFFECTS OF SURFACE CHARGE ACCUMULATION
(FR) TECHNIQUES DE BALAYAGE APPLIQUEES AUX DISPOSITIFS A FAISCEAUX DE PARTICULES ET TENDANT A REDUIRE LES EFFETS DE L'ACCUMULATION DE CHARGE SUPERFICIELLE
Abrégé : front page image
(EN)Improved scanning methods for use in a scanning particle beam microscope reduce the effects of surface charge accumulation, increasing linearity and precision. More particularly, signal distortion is reduced by scanning across an object (71) along a line in a first direction to produce a first signal, scanning across an object (71) along the identical line in an opposite, anti-parallel direction to produce a second signal, and combining the first and second signals. This technique is referred to as scan reversal. Baseline drift is substantially canceled out of the resulting signal. According to another technique imaging of a general circular high-aspect-ratio structure is enhanced by identifying approximately the center of the structure, electrostatically scanning a particle beam (14) along a multiplicity of radii (R1...Rn) of the structure (73), detecting particles emitted from the surface of the structure being examined to generate a detection signal, and using the detection signal to form an enhanced image of the generally circular high-aspect-ratio structure (73). This technique is referred to as radial scanning.
(FR)Méthodes de balayage améliorées appliquées à un microscope à faisceau de particules et tendant à réduire l'accumulation des charges superficielles, lesdites méthodes ayant pour résultat d'accroître la linéarité et la précision. Plus spécifiquement, on atténue la distorsion du signal en balayant un objet (71) selon une ligne, dans un premier sens, pour obtenir un premier signal, en balayant cet objet (71) selon la même ligne mais en sens contraire, antiparallèle, pour obtenir un deuxième signal, et en combinant le premier et le deuxième signal. Cette technique est appelée inversion du balayage. La dérive de ligne de base est largement supprimée du signal obtenu. Selon une autre technique, on améliore la visualisation d'une structure essentiellement circulaire à format d'image important en identifiant approximativement le centre de la structure, en balayant électrostatiquement par un faisceau de particules (14) une série de rayons (R1...Rn) de cette structure (73), en détectant les particules émises par la surface de la structure à l'examen pour produire un signal de détection, et en utilisant le signal de détection pour former une image améliorée de la structure essentiellement circulaire à un format d'image important (73). Cette technique est appelée balayage radial.
États désignés : CA, JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)