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1. WO1994000744 - DISPOSITIF ET PROCEDE DE CHAUFFAGE D'OBJETS AVEC MESURE DE LA TEMPERATURE DE L'OBJET

Numéro de publication WO/1994/000744
Date de publication 06.01.1994
N° de la demande internationale PCT/EP1993/001702
Date du dépôt international 29.06.1993
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 27.01.1994
CIB
G01J 5/00 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
JMESURE DE L'INTENSITÉ, DE LA VITESSE, DU SPECTRE, DE LA POLARISATION, DE LA PHASE OU DES CARACTÉRISTIQUES D'IMPULSIONS DE LUMIÈRE INFRAROUGE, VISIBLE OU ULTRAVIOLETTE; COLORIMÉTRIE; PYROMÉTRIE DES RADIATIONS
5Pyrométrie des radiations
H01L 21/00 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
CPC
G01J 2005/066
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
06Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation
066Differential arrangement, i.e. sensitive/not sensitive
G01J 5/0003
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
0003for sensing the radiant heat transfer of samples, e.g. emittance meter
G01J 5/0007
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
0003for sensing the radiant heat transfer of samples, e.g. emittance meter
0007of wafers or semiconductor substrates, e.g. using Rapid Thermal Processing
G01J 5/06
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
06Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation
G01J 5/08
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRA-RED, VISIBLE OR ULTRA-VIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
5Radiation pyrometry
02Details
08Optical features
G01J 5/0804
Déposants
  • INTERUNIVERSITAIR MICRO-ELEKTRONICA CENTRUM VZW [BE]/[BE] (AllExceptUS)
  • VANDENABEELE, Peter, Michel, Noel [BE]/[BE] (UsOnly)
Inventeurs
  • VANDENABEELE, Peter, Michel, Noel
Mandataires
  • LAND, A., A., G.
Données relatives à la priorité
920115529.06.1992NL
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) DEVICE AND METHOD FOR HEATING OBJECTS WHEREIN THE TEMPERATURE OF THE OBJECT IS MEASURED
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE DE CHAUFFAGE D'OBJETS AVEC MESURE DE LA TEMPERATURE DE L'OBJET
Abrégé
(EN) Device for heating an object, in particular a wafer of semiconductor material, comprising: a chamber (2) in which the object for heating can be placed and which is provided with a wall permeable to radiation in a determined wavelength range; heating elements (3) for heating the object in the chamber; first radiating elements (5) for projecting radiation onto the object; means for modulating the intensity of the radiation coming from the first radiating elements; a radiation meter (6) for measuring the radiation intensity generated by the object, the sensitivity of which is located for a significant part in said wavelength range; and filtering means (4) for filtering in said wavelength range radiation coming from the heating means and/or parts heated by the heating means, wherein the filtering means are disposed such that radiation from the modulated first radiating elements reaches the radiation meter unfiltered.
(FR) Dispositif de chauffage d'un objet, notamment une tranche en matériau semiconducteur. Il comporte une chambre (2) dans laquelle on peut placer l'objet à chauffer, la chambre étant pourvue d'une paroi perméable au rayonnement compris dans une gamme de longueurs d'ondes prédéterminée; des éléments chauffants (3) destinés à chauffer l'objet placé dans la chambre; des premiers éléments rayonnants (5) destinés à diriger un rayonnement sur l'objet; une unité de modulation de l'intensité du rayonnement émis par les premiers éléments rayonnants; un mesureur de rayonnement (6) servant à mesurer l'intensité du rayonnement engendré par l'objet, une partie importante de sa sensibilité étant comprise dans ladite gamme de longueurs d'ondes; et une unité de filtrage (4) assurant le filtrage, dans ladite gamme de longueurs d'ondes, du rayonnement émis par le dispositif de chauffage et/ou les pièces chauffées par celui-ci, l'unité de filtrage étant agencée de telle sorte que le rayonnement émis par les premiers éléments rayonnants modulés atteigne le mesureur de rayonnement sans subir de filtrage.
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