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1. (WO1993019484) RECUIT THERMIQUE RAPIDE UTILISANT UNE COUCHE THERMOCONDUCTRICE DE RECOUVREMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/1993/019484 N° de la demande internationale : PCT/US1993/002398
Date de publication : 30.09.1993 Date de dépôt international : 16.03.1993
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 15.10.1993
CIB :
H01L 21/00 (2006.01) ,H01L 21/268 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02
Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
04
les dispositifs présentant au moins une barrière de potentiel ou une barrière de surface, p.ex. une jonction PN, une région d'appauvrissement, ou une région de concentration de porteurs de charges
18
les dispositifs ayant des corps semi-conducteurs comprenant des éléments du quatrième groupe de la Classification Périodique, ou des composés AIIIBV, avec ou sans impuretés, p.ex. des matériaux de dopage
26
Bombardement par des radiations ondulatoires ou corpusculaires
263
par des radiations d'énergie élevée
268
les radiations étant électromagnétiques, p.ex. des rayons laser
Déposants :
AKTIS CORPORATION [US/US]; 3845 Atherton Road, Suite 1 Rocklin, CA 95677, US
Inventeurs :
FAIR, Jim; US
MEHLHAFF, John; US
Mandataire :
ALBERT, Philip, H. ; Townsend and Townsend Khourie and Crew Steuart Street Tower 20th Floor One Market Plaza San Francisco, CA 94105, US
Données relatives à la priorité :
07/852,60117.03.1992US
Titre (EN) RAPID THERMAL ANNEALING USING THERMALLY CONDUCTIVE OVERCOAT
(FR) RECUIT THERMIQUE RAPIDE UTILISANT UNE COUCHE THERMOCONDUCTRICE DE RECOUVREMENT
Abrégé :
(EN) Apparatus and method for improved heating uniformity during rapid thermal annealing through the use of the sacrificial layer (12) covering the surface to be annealed. The composition and thickness of the sacrificial layer (112) are chosen to be opaque at the frequencies emitted by a radiant energy source, arc lamp (40) and also to be thermally conductive. The sacrificial layer (112) absorbs the radiant energy and conducts the resulting heat to the surface to be annealed. After the annealing is complete, the sacrificial layer (112) is etched away or left as an overcoat.
(FR) Appareil et procédé assurant une homogénéité de chauffage améliorée pendant une opération de recuit thermique rapide au moyen d'une couche à sacrifier (12) recouvrant la surface à recuire. La composition et l'épaisseur de la couche à sacrifier (112) sont telles qu'elle est opaque aux fréquences émises par une source d'énergie rayonnante sous forme de lampe à arc (40), et qu'elle est également thermoconductrice. La couche à sacrifier (112) absorbe l'énergie rayonnante et transmet par conduction à la surface à recuire la chaleur ainsi produite. Une fois que le recuit est terminé, on enlève par attaque la couche à sacrifier (112), ou on la laisse où elle est afin qu'elle serve de couche de recouvrement.
États désignés : CA, JP, KR
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)