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1. (WO1993019343) CAPTEUR MICROMECANIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/1993/019343 N° de la demande internationale : PCT/GB1993/000532
Date de publication : 30.09.1993 Date de dépôt international : 15.03.1993
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 15.10.1993
CIB :
B81B 3/00 (2006.01) ,G01B 7/00 (2006.01) ,G01B 7/14 (2006.01) ,G01P 15/08 (2006.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
81
TECHNOLOGIE DES MICROSTRUCTURES
B
DISPOSITIFS OU SYSTÈMES À MICROSTRUCTURE, p.ex. DISPOSITIFS MICROMÉCANIQUES
3
Dispositifs comportant des éléments flexibles ou déformables, p.ex. comportant des membranes ou des lamelles élastiques
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
7
Dispositions de mesure caractérisées par l'utilisation de moyens électriques ou magnétiques
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
7
Dispositions de mesure caractérisées par l'utilisation de moyens électriques ou magnétiques
14
pour mesurer la distance ou la marge entre des objets ou des ouvertures espacés
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
P
MESURE DES VITESSES LINÉAIRES OU ANGULAIRES, DE L'ACCÉLÉRATION, DE LA DÉCÉLÉRATION OU DES CHOCS; INDICATION DE LA PRÉSENCE OU DE L'ABSENCE D'UN MOUVEMENT; INDICATION DE LA DIRECTION D'UN MOUVEMENT
15
Mesure de l'accélération; Mesure de la décélération; Mesure des chocs, c. à d. d'une variation brusque de l'accélération
02
en ayant recours aux forces d'inertie
08
avec conversion en valeurs électriques ou magnétiques
Déposants :
LYNXVALE LIMITED [GB/GB]; The Old Schools Trinity Lane Cambridge CB2 1TS, GB (AllExceptUS)
MOORE, David, Frank [GB/GB]; GB (UsOnly)
HOOLE, Andrew, Charles, Frederick [ZA/GB]; GB (UsOnly)
HEAVER, Alan [GB/GB]; GB (UsOnly)
Inventeurs :
MOORE, David, Frank; GB
HOOLE, Andrew, Charles, Frederick; GB
HEAVER, Alan; GB
Mandataire :
DRIVER, Virginia, Rozanne ; Page White & Farrer 54 Doughty Street London WC1N 2LS, GB
Données relatives à la priorité :
9205711.616.03.1992GB
Titre (EN) MICROMECHANICAL SENSOR
(FR) CAPTEUR MICROMECANIQUE
Abrégé :
(EN) A micromechanical sensor has a plurality of sensing elements (14a-14d) which are supported at respective support regions (12a-12d). A first set of the sensing elements defines the sensing gap. In one arrangement this is defined by sensing elements supported by adjacent support regions. In another embodiment the sensing gap is defined between one sensing element and a reference beam formed by connection of the return legs of two diametrically opposed sensing elements. The sensing elements are substantially similar one to another and each sensing element comprises an outgoing elongate leg extending away from its associated support region and a return leg substantially parallel to the outgoing leg extending towards the support region. By providing sensing elements which are substantially similar in shape and arranged in this way, the effects of thin film stress are minimised.
(FR) Un capteur micromécanique comporte plusieurs éléments de détection (14a-14d) placés sur leurs zones de support respectives (12a-12d). Une première série d'éléments de détection définit l'espace de détection. Selon une variante, ce dernier se définit par des éléments de détection supportés par des zones de support adjacentes. Selon une autre variante, il est défini entre un élément de détection et une poutrelle de référence formée par la liaison des segments rentrants appartenant à deux éléments de détection placés en opposition. Ces éléments sont fondamentalement similaires et chacun comporte un segment allongé qui s'éloigne de sa zone de support associée, ainsi qu'un segment rentrant, parallèle en pratique au segment sortant, qui revient vers la zone de support. En utilisant des éléments de détection de forme fondamentalement similaire et disposés comme indiqué, on minimise les effets des contraintes dues à la minceur du film.
États désignés : GB, JP, US
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)
Également publié sous:
ES2107010EP0632880US5763782JPH08504266 DE000069313104GB2280038