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1. (WO1993019223) BARBOTEURS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/1993/019223 N° de la demande internationale : PCT/GB1993/000635
Date de publication : 30.09.1993 Date de dépôt international : 26.03.1993
CIB :
B01J 4/00 (2006.01) ,C23C 16/448 (2006.01)
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
01
PROCÉDÉS OU APPAREILS PHYSIQUES OU CHIMIQUES EN GÉNÉRAL
J
PROCÉDÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES, p.ex. CATALYSE, CHIMIE DES COLLOÏDES; APPAREILLAGE APPROPRIÉ
4
Dispositifs d'alimentation; Dispositifs de commande d'alimentation ou d'évacuation
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
16
Revêtement chimique par décomposition de composés gazeux, ne laissant pas de produits de réaction du matériau de la surface dans le revêtement, c. à d. procédés de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
44
caractérisé par le procédé de revêtement
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caractérisé par le procédé utilisé pour produire des courants de gaz réactifs, p.ex. par évaporation ou par sublimation de matériaux précurseurs
Déposants :
EPICHEM LIMITED [GB/GB]; Power Road Bromborough Wirral Merseyside L62 3QF, GB (AllExceptUS)
JONES, Anthony, Copeland [GB/GB]; GB (UsOnly)
Inventeurs :
JONES, Anthony, Copeland; GB
Mandataire :
ROYSTONS; Tower Building Water Street Liverpool L3 1BA, GB
Données relatives à la priorité :
9206552.326.03.1992GB
Titre (EN) BUBBLERS
(FR) BARBOTEURS
Abrégé :
(EN) A bubbler for use in vapour phase deposition of organometallic compound comprises a receptacle (12) for the organometallic compound, an inlet tube (14) for carrier gas, an outlet tube (16) for carrier gas saturated or partially saturated with the organometallic compound, a valved interconnecting tube (22, 24) between the inlet and outlet tubes and a valve (18 and 20 respectively) in each of the inlet and outlet tubes between the interconnecting tube and the receptacle.
(FR) Barboteur destiné à être utilisé pour le dépôt d'un composé organométallique en phase vapeur comprenant: un récipient (12) contenant le composé organométallique, un tube d'admission (14) du gaz transporteur, un tube de sortie (16) du gaz transporteur, saturé ou partiellement saturé de composé organométallique, un tube d'interconnexion (22, 24) équipé de vannes situé entre les tubes d'admission et de sortie, et deux vannes (18 et 20) situées respectivement sur le tube d'admission et le tube de sortie, entre le tube d'interconnexion et le récipient.
États désignés : AT, AU, BB, BG, BR, CA, CH, DE, DK, ES, FI, GB, HU, JP, KP, KR, LK, LU, MG, MN, MW, NL, NO, PL, RO, RU, SD, SE, US
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)
Également publié sous:
GB2265390AU1993037653