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1. WO1993018422 - COMPOSANT OPTIQUE INTEGRE

Numéro de publication WO/1993/018422
Date de publication 16.09.1993
N° de la demande internationale PCT/DE1993/000103
Date du dépôt international 06.02.1993
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 12.08.1993
CIB
G02B 6/12 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
6Guides de lumière; Détails de structure de dispositions comprenant des guides de lumière et d'autres éléments optiques, p.ex. des moyens de couplage
10du type guide d'ondes optiques
12du genre à circuit intégré
G02B 6/122 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
6Guides de lumière; Détails de structure de dispositions comprenant des guides de lumière et d'autres éléments optiques, p.ex. des moyens de couplage
10du type guide d'ondes optiques
12du genre à circuit intégré
122Elements optiques de base, p.ex. voies de guidage de la lumière
G02B 6/30 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
6Guides de lumière; Détails de structure de dispositions comprenant des guides de lumière et d'autres éléments optiques, p.ex. des moyens de couplage
24Couplage de guides de lumière
26Moyens de couplage optique
30pour usage entre fibre et dispositif à couche mince
G02B 6/36 2006.01
GPHYSIQUE
02OPTIQUE
BÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
6Guides de lumière; Détails de structure de dispositions comprenant des guides de lumière et d'autres éléments optiques, p.ex. des moyens de couplage
24Couplage de guides de lumière
36Moyens de couplage mécaniques
CPC
G02B 2006/12038
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
6Light guides
10of the optical waveguide type
12of the integrated circuit kind
12035Materials
12038Glass (SiO2 based materials)
G02B 2006/12142
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
6Light guides
10of the optical waveguide type
12of the integrated circuit kind
12133Functions
12142Modulator
G02B 2006/12145
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
6Light guides
10of the optical waveguide type
12of the integrated circuit kind
12133Functions
12145Switch
G02B 2006/12147
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
6Light guides
10of the optical waveguide type
12of the integrated circuit kind
12133Functions
12147Coupler
G02B 2006/12195
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
6Light guides
10of the optical waveguide type
12of the integrated circuit kind
12166Manufacturing methods
12195Tapering
G02B 6/1221
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
6Light guides
10of the optical waveguide type
12of the integrated circuit kind
122Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
1221made from organic materials
Déposants
  • ROBERT BOSCH GMBH [DE]/[DE] (AllExceptUS)
  • MAYER, Klaus-Michael [DE]/[DE] (UsOnly)
Inventeurs
  • MAYER, Klaus-Michael
Données relatives à la priorité
P 42 07 311.107.03.1992DE
P 42 08 278.113.03.1992DE
Langue de publication allemand (DE)
Langue de dépôt allemand (DE)
États désignés
Titre
(DE) INTEGRIERTES OPTISCHES BAUELEMENT
(EN) INTEGRATED OPTICAL COMPONENT
(FR) COMPOSANT OPTIQUE INTEGRE
Abrégé
(DE)
Es wird ein integriertes optisches Bauelement, insbesondere ein Modulator, Richtkoppler, Schalter, Polarisator, Verteiler od.dgl., vorgeschlagen sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauelements. Das Bauelement weist einen auf einem mit wenigstens einer optischen Pufferschicht (14) mit niedrigem Brechungsindex versehenen Siliziumsubstrat (10) angeordneten Lichtwellenleiter (17) aus einem optischen Polymer auf, wobei ein anisotrop in das Substrat (10) eingeätzter, im wesentlichen fluchtend zum Lichtwellenleiter (17) ausgerichteter Positioniergraben (12) mit V-förmigem Querschnitt zur Aufnahme einer durch Stoßkopplung an die Kopplungsendfläche (18) des Lichtwellenleiters anzukoppelnden Glasfaser (11) vorgesehen ist. Der Positioniergraben (12) ist am kopplungsseitigen Endbereich mit einem Kunststoffmaterial (15) ausgefüllt, wobei sich der Lichtwellenleiter (17) auf dem Kunststoffmaterial (15) bis zu einer senkrecht zur axialen Richtung des Lichtwellenleiters (17) verlaufenden, in der Ebene der Kopplungsendfläche liegenden Endfläche (18) des Kunststoffmaterials (15) erstreckt. Diese Endfläche (18) ist außerhalb eines schräg verlaufenden Endbereichs (13) des Positioniergrabens (12) angeordnet. Die Endfläche (18) und damit die Kopplungsendfläche kann hierduch in einfacher Weise durch Laserbearbeitung erzeugt werden, wobei die etablierte Technologie zur Herstellung des Positioniergrabens durch anisotropes Ätzen eingesetzt werden kann. Insgesamt wird eine hohe Stabilität bei einfacher und exakter Ausrichtung von Glasfaser (11) und Lichtwellenleiter (17) erreicht.
(EN)
The proposal is for an integrated optical component, especially a modulator, directional coupler, switch, polariser, distributor or the like and a process for producing it. The component has a light-guide (17) made of an optical polymer on a silicon substrate (10) with at least one optical buffer layer (14) with a low refractive index, having a V-shaped positioning groove (12) anisotropically etched into the substrate (10) and essentially aligned with the light-guide (17) to receive a glass fibre (11) to be coupled to the terminal coupling area (18) of the light-guide by shock coupling. The end region on the coupling side of the positioning groove (12) is filled with a plastic material (15). The light-guide (17) extends on the plastic material (15) as far as an end area (18) of the plastic material (15) running perpendicularly to the axial direction of the light-guide (17) in the plane of the coupling terminal surface. This end area (18) is arranged outside an oblique end region (13) of the positioning groove (12). The end surface (18) and hence the terminal coupling area can thus easily be produced by laser machining, while the conventional method of making the positioning groove by anisotropic etching can be used. Overall, high stability can be achieved with the simple and precise alignment of glass fibre (11) and light-guide (17).
(FR)
Composant intégré, notamment un modulateur, un coupleur directionnel, un commutateur, un polisateur, un distributeur ou autre composant du même type, ainsi que le procédé de fabrication d'un composant de ce type. Ce composant comprend un guide d'ondes lumineuses (17) réalisé dans un polymère optique, disposé sur un substrat en silicium (10) muni au moins d'un revêtement optique tampon (14) ayant un faible indice de réfraction. Une rainure de positionnement (12) orientée en alignement par rapport au guide d'ondes lumineuses (17) façonné par attaque de manière anisotrope dans le substrat, est prévue. Sa section transversale est en forme de V pour recevoir une des fibres de verre (11) à coupler à la surface terminale de couplage (18) du guide d'ondes lumineuses, par couplage par chocs. La rainure de positionnement (12) est remplie, au niveau de la zone terminale côté couplage, par un matériau plastique (15), le guide d'ondes lumineuses (17) s'étendant sur le matériau plastique (15) jusqu'à une surface terminale (18) du matériau plastique (15), située dans le plan de la surface terminale de couplage et perpendiculaire au sens axial du guide d'ondes lumineuses. Cette surface terminale (18) est située à l'extérieur d'une zone terminale oblique (13) de la rainure de positionnement (12). La surface terminale (18) et, par conséquent, la surface terminale de couplage peuvent être réalisées par ce biais de manière aisée par usinage par laser, la technique de fabrication de la rainure de positionnement établie, pouvant être mise en ÷uvre par attaque anisotrope. Dans l'ensemble, cette invention permet d'obtenir une stabilité élevée pour un alignement exact et simple de la fibre de verre (11) et du guide d'ondes lumineuses (17).
Également publié en tant que
US08302708
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