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1. (WO1993018381) DETECTEUR DE PRESSION ET PROCEDE ASSOCIE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/1993/018381 N° de la demande internationale : PCT/NZ1993/000016
Date de publication : 16.09.1993 Date de dépôt international : 12.03.1993
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 08.10.1993
CIB :
G01L 9/00 (2006.01) ,G01N 11/04 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
L
MESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
9
Mesure de la pression permanente, ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent par des éléments électriques ou magnétiques sensibles à la pression; Transmission ou indication par des moyens électriques ou magnétiques du déplacement des éléments mécaniques sensibles à la pression, utilisés pour mesurer la pression permanente ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
11
Recherche des propriétés d'écoulement des matériaux, p.ex. la viscosité, la plasticité; Analyse des matériaux en déterminant les propriétés d'écoulement
02
en mesurant l'écoulement du matériau
04
à travers un passage étroit, p.ex. un tube, une ouverture
Déposants :
INDUSTRIAL RESEARCH LIMITED [NZ/NZ]; Gracefield Road Lower Hutt 6009, NZ (AllExceptUS)
ANDREWS, Michael, Kenneth [GB/NZ]; NZ (UsOnly)
TURNER, Gary, Chandler [NZ/NZ]; NZ (UsOnly)
MOORE, Murray, Bruce [NZ/NZ]; NZ (UsOnly)
HARRIS, Paul, David [NZ/NZ]; NZ (UsOnly)
HARRIS, Ian, Murray [NZ/NZ]; NZ (UsOnly)
Inventeurs :
ANDREWS, Michael, Kenneth; NZ
TURNER, Gary, Chandler; NZ
MOORE, Murray, Bruce; NZ
HARRIS, Paul, David; NZ
HARRIS, Ian, Murray; NZ
Mandataire :
WEST-WALKER, Gregory, James ; West-Walker McCabe 160-162 Willis Street Wellington 6001, NZ
Données relatives à la priorité :
24075112.03.1992NZ
24247523.04.1992NZ
Titre (EN) PRESSURE SENSOR AND METHOD
(FR) DETECTEUR DE PRESSION ET PROCEDE ASSOCIE
Abrégé :
(EN) A micro-mechanic gas pressure and/or viscosity sensor using the squeeze film effect comprises a mechanically fixed member (5), an oscillatory member (1) capable of oscillation relative to the fixed member (5), and a thin planar cavity (4) defined between the fixed plate (5) and the oscillatory plate (1) into which gas may pass and be restrained by the squeeze film effect. Electronic means determines either a) gas pressure by reference to the frequency of resulting oscillation of the oscillatory member which is initiated by a voltage pulse applied across the fixed member and the oscillatory member, or b) gas viscosity by reference to the phase difference between a driving voltage applied across the fixed member and the oscillatory member and resulting oscillation of the oscillatory member. The fixed member may form one capacitor plate, and the oscillatory member another capacitor plate. The frequency and/or phase of motion of the oscillatory member can be determined by reference to capacitance across the fixed and oscillatory members. The sensor structure can be produced by etching a substrate (2) to form the fixed member and oscillatory member.
(FR) Détecteur micromécanique de la pression et/ou la viscosité d'un gaz. Il exploite l'effet de film gazeux à compression et comporte un élément mécaniquement fixe (5), un élément oscillant (1) pouvant osciller par rapport à l'élément fixe (5), ainsi qu'une cavité mince et plane (4) délimitée par la plaque fixe (5) et la plaque oscillante (1) et adaptée pour qu'un gaz puisse s'y introduire et être confiné par l'effet de film gazeux à compression. Un dispositif électronique détermine (a) la pression du gaz par référence à la fréquence des oscillations de l'élément oscillant dues à l'application d'une impulsion de tension aux bornes de l'élément fixe et de l'élément oscillant, ou (b) la viscosité du gaz par référence à la différence de phase entre une tension d'excitation appliquée aux bornes de l'élément fixe et de l'élément oscillant, et aux oscillations de l'élément oscillant. L'élément fixe peut former une première armature de condensateur, et l'élément oscillant peut en former une autre. On peut déterminer la fréquence et/ou la phase du mouvement de l'élément oscillant par référence à la capacité aux bornes des éléments fixe et oscillant. On peut produire la structure détectrice par gravure d'un substrat (2) de manière à former lesdits éléments fixe et oscillant.
États désignés : AT, AU, BB, BG, BR, CA, CH, CZ, DE, DK, ES, FI, GB, HU, JP, KP, KR, KZ, LK, LU, MG, MN, MW, NL, NO, NZ, PL, PT, RO, RU, SD, SE, SK, UA, US, VN
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, ML, MR, SN, TD, TG)
Langue de publication : Anglais (EN)
Langue de dépôt : Anglais (EN)
Également publié sous:
NZ249984JPH07504980AU1993037700