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1. (WO1993017313) DETECTEUR DE PRESSION DIFFERENTIELLE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/1993/017313 N° de la demande internationale : PCT/DE1993/000166
Date de publication : 02.09.1993 Date de dépôt international : 22.02.1993
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 24.09.1993
CIB :
G01L 9/00 (2006.01) ,G01L 13/02 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
L
MESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
9
Mesure de la pression permanente, ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent par des éléments électriques ou magnétiques sensibles à la pression; Transmission ou indication par des moyens électriques ou magnétiques du déplacement des éléments mécaniques sensibles à la pression, utilisés pour mesurer la pression permanente ou quasi permanente d'un fluide ou d'un matériau solide fluent
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
L
MESURE DES FORCES, DES CONTRAINTES, DES COUPLES, DU TRAVAIL, DE LA PUISSANCE MÉCANIQUE, DU RENDEMENT MÉCANIQUE OU DE LA PRESSION DES FLUIDES
13
Dispositifs ou appareils pour la mesure des différences entre deux ou plusieurs valeurs de la pression des fluides
02
en utilisant des organes ou des pistons élastiquement déformables comme éléments sensibles
Déposants :
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2 D-80333 München, DE (AllExceptUS)
ARNDT, Frank [DE/DE]; DE (UsOnly)
HOUDEAU, Detlef [DE/DE]; DE (UsOnly)
VON RAUCH, Moriz [DE/DE]; DE (UsOnly)
SCHLAAK, Helmut [DE/DE]; DE (UsOnly)
Inventeurs :
ARNDT, Frank; DE
HOUDEAU, Detlef; DE
VON RAUCH, Moriz; DE
SCHLAAK, Helmut; DE
Données relatives à la priorité :
P 42 06 675.128.02.1992DE
Titre (DE) DRUCKDIFFERENZ-SENSOR
(EN) PRESSURE DIFFERENCE SENSOR
(FR) DETECTEUR DE PRESSION DIFFERENTIELLE
Abrégé :
(DE) Die Erfindung bezieht sich auf einen Druckdifferenz-Sensor mit einer Halbleiter-Meßmembran, die zwischen zwei Tragteilen aus Isoliermaterial unter Bildung jeweils einer Innenkammer eingespannt ist; die Tragteile tragen innen jeweils eine flächenhafte Elektrode. Um bei einem derartigen Druckdifferenz-Sensor den Einfluß des statischen Druckes auf die Meßgenauigkeit zu kompensieren, enthält der Druckdifferenz-Sensor (1) im Bereich der Einspannung (5) der Halbleiter-Meßmembran (2) einen inneren, druckbelasteten Ausgleichsraum (19, 21, 22, 23), der sich in der Höhe über beide Tragteile (3, 4) erstreckt und um die Innenkammern (10, 11) verläuft.
(EN) The invention relates to a pressure difference sensor with a semiconductor measuring diaphragm which is clamped between two bearers of insulating material to form an inner chamber; each of the bearers is fitted with a flat electrode on the inside. In order with such a pressure difference sensor to compensate for the effect of the static pressure on the accuracy of measurement, the pressure difference sensor (1) has, in the clamping region (5) of the semiconductor measuring diaphragm (2), an internal, pressurised equalisation chamber (19, 21, 22, 23) extending above both bearers (3, 4) and running around the inner chambers (10, 11).
(FR) L'invention concerne un détecteur de pression différentielle comprenant une membrane de mesure à semiconducteur fixée entre deux supports en un matériau isolant, formant respectivement une chambre intérieure; les supports portent chacun, à l'intérieur, une électrode plane. Afin de compenser, dans un tel détecteur, l'influence de la pression statique sur la précision de la mesure, le détecteur de pression différentielle (1) comprend, dans la zone de fixaation (5) de la membrane de mesure à semiconducteur (2), un volume intérieur compensateur sollicité à la pression (19, 21, 22, 23) s'étendant en hauteur au-dessus des deux supports (3, 4) et entourant les chambres intérieures (10, 11).
États désignés : US
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Langue de publication : Allemand (DE)
Langue de dépôt : Allemand (DE)
Également publié sous:
EP0628160US5623102