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1. (WO1993017311) OBSERVATION DE SURFACES D'ECHANTILLONS SELON LE PROCEDE DE L'INTERFEROMETRIE A TAVELURES A CISAILLEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international

N° de publication : WO/1993/017311 N° de la demande internationale : PCT/DE1993/000172
Date de publication : 02.09.1993 Date de dépôt international : 01.03.1993
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 24.09.1993
CIB :
G01B 11/24 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24
pour mesurer des contours ou des courbes
Déposants :
PFISTER, Klaus [DE/DE]; DE
Inventeurs :
PFISTER, Klaus; DE
Données relatives à la priorité :
P 42 06 151.228.02.1992DE
Titre (DE) BEOBACHTUNG VON PRÜFLINGSOBERFLÄCHEN NACH DEM SPECKLE-SHEARING-VERFAHREN
(EN) OBSERVING TEST-PIECE SURFACES BY THE SPECKLE-SHEARING PROCESS
(FR) OBSERVATION DE SURFACES D'ECHANTILLONS SELON LE PROCEDE DE L'INTERFEROMETRIE A TAVELURES A CISAILLEMENT
Abrégé :
(DE) Gegenstand der Erfindung ist ein Shearing-Meßkopf, der aufgrund der Verwendung von Hohlspiegeln in einer Michelson-Interferometer-Anordnung sehr kompakt aufgebaut ist, Phasenshiften erlaubt und wahlweise mit einem vorgesetzten Objektiv betrieben werden kann.
(EN) The object of the invention is a shearing measuring head with a very compact construction owing to the use of concave mirrors in a Michelson interferometer arrangement, which permits phase shifts and may if desired be operated with an upstream object lens.
(FR) L'invention a pour objet une tête de mesure à cisaillement qui, du fait de l'utilisation de miroirs concaves dans une installation à interféromètre de Michelson, possède une construction très compacte, permet des décalages de phase et peut être exploitée le cas échéant avec un objectif en amont.
États désignés : US
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE)
Langue de publication : Allemand (DE)
Langue de dépôt : Allemand (DE)
Également publié sous:
EP0628159US5493398DE000004310281