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1. WO1993014420 - SYSTEME POUR MESURER DES RAYONS DE COURBURES

Numéro de publication WO/1993/014420
Date de publication 22.07.1993
N° de la demande internationale PCT/US1993/000422
Date du dépôt international 21.01.1993
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 19.08.1993
CIB
G01B 11/16 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
16pour mesurer la déformation dans un solide, p.ex. indicateur optique de déformation
G01B 11/255 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
24pour mesurer des contours ou des courbes
255pour mesurer le rayon de courbure
G01B 11/30 2006.1
GPHYSIQUE
01MÉTROLOGIE; TESTS
BMESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
11Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de moyens optiques
30pour mesurer la rugosité ou l'irrégularité des surfaces
H01L 21/00 2006.1
HÉLECTRICITÉ
01ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
LDISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
CPC
G01B 11/16
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
16for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
G01B 11/255
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
24for measuring contours or curvatures
255for measuring radius of curvature
G01B 11/306
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11Measuring arrangements characterised by the use of optical means
30for measuring roughness or irregularity of surfaces
306for measuring evenness
H01L 21/67288
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
67242Apparatus for monitoring, sorting or marking
67288Monitoring of warpage, curvature, damage, defects or the like
Déposants
  • KOO, Ann [US]/[US]
Inventeurs
  • CHENG, David
Mandataires
  • KREBS, Robert, E.
Données relatives à la priorité
07/822,91021.01.1992US
Langue de publication Anglais (en)
Langue de dépôt anglais (EN)
États désignés
Titre
(EN) SYSTEM FOR MEASURING RADII OF CURVATURES
(FR) SYSTEME POUR MESURER DES RAYONS DE COURBURES
Abrégé
(EN) A system for measuring topological features, such as curvatures and profiles, of surfaces such as semiconductor wafer surfaces. The system includes a) laser means (11) and lens means (13) for directing a beam of weakly-convergent light for incidence on a surface which is to be measured, b) photodetector means (25) for detecting the position of the laser light beam reflected from the surface, c) first translation means (20) for providing relative movement between the laser means and the surface in a direction which is normal to the direction of the incident beam, so that the incident beam is caused to scan across the surface, and e) position sensing means connected to the photodetector means for detecting the location on the photodetector means at which the reflected beam is incident.
(FR) L'invention se rapporte à un système pour mesurer les caractéristiques topologiques, telles que des courbures et des profils, sur des surfaces telles que des surfaces de plaquettes de semi-conducteur. Ce système comprend: a) un laser (11) et une lentille (13) servant à diriger un faisceau de lumière faiblement convergent sur une surface d'incidence qui doit être mesurée; b) un photodétecteur (25) servant à détecter la position du faisceau laser réfléchi par la surface; c) un premier organe de translation (20) servant à établir un mouvement relatif entre le laser et la surface dans une direction qui est perpendiculaire à la direction du faisceau incident, pour que ce faisceau incident soit amené à balayer ladite surface; et e) un organe de détection de position connecté au photodétecteur et destiné à détecter l'endroit sur le photodétecteur où le faisceau réfléchi est incident.
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