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1. (WO1993010556) APPAREIL POUR FORMER UN FILM D'OXYDE, APPAREIL DE TRAITEMENT A CHAUD, DISPOSITIF A SEMI-CONDUCTEUR ET PROCEDE DE FABRICATION ASSOCIE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1993/010556    N° de la demande internationale :    PCT/JP1992/001534
Date de publication : 27.05.1993 Date de dépôt international : 24.11.1992
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    18.06.1993    
CIB :
C23C 16/44 (2006.01), C23C 16/452 (2006.01), C23C 16/455 (2006.01), C30B 33/00 (2006.01), H01L 21/00 (2006.01), H01L 21/316 (2006.01), H01L 27/092 (2006.01)
Déposants : OHMI, Tadahiro [JP/JP]; (JP)
Inventeurs : OHMI, Tadahiro; (JP)
Mandataire : FUKUMORI, Hisao; 12, Honshio-cho, Shinjuku-ku, Tokyo 160 (JP)
Données relatives à la priorité :
3/334260 22.11.1991 JP
3/334261 22.11.1991 JP
3/334263 22.11.1991 JP
3/342229 29.11.1991 JP
Titre (EN) APPARATUS FOR FORMING OXIDE FILM, HEAT TREATMENT APPARATUS, SEMICONDUCTOR DEVICE, MANUFACTURING METHOD THEREFOR
(FR) APPAREIL POUR FORMER UN FILM D'OXYDE, APPAREIL DE TRAITEMENT A CHAUD, DISPOSITIF A SEMI-CONDUCTEUR ET PROCEDE DE FABRICATION ASSOCIE
Abrégé : front page image
(EN)A heat treatment apparatus which can perform active gas sintering, etc. for forming a reliable oxide film on the surface of a substrate in a furnace tube. In the apparatus, provided are at least a furnace tube (1) which has a closable opening part (11) for loading in and out an object (5) to be treated and has gas introducing inlets (12) for introducing gases inside, a heating means (4) for heating the inside of the furnace tube (1), gas introducing pipes (2) communicating with the gas introducing inlets (12) so as to pass gases through them, and a heating means (9) for heating the gas introducing pipes (2). At least the inner surfaces of the gas introducing pipes (2) are made of nickel or a material containing nickel.
(FR)L'invention se rapporte à un appareil de traitement à chaud qui peut effectuer notamment des opérations de frittage par gaz actif, afin de former un film d'oxyde fiable sur la surface d'un substrat dans un tube faisant office de four. Dans cet appareil, on dispose au moins un tube faisant office de four (1), qui possède une ouverture fermante (11) pour le chargement et le déchargement d'u objet (5) à traiter ainsi que des entrées (12) pour l'introduction de gaz dans le tube, un organe chauffant (4) pour chauffer l'intérieur du tube faisant office de four (1), des tuyaux d'introduction de gaz (2) communiquant avec les entrées de gaz (12), pour faire passer les gaz à travers eux, et un organe chauffant (9) servant à chauffer les conduits d'introduction de gaz (2). Les surfaces intérieures au moins des conduits d'introduction de gaz (2) sont faites de nickel ou d'un matériau contenant du nickel.
États désignés : US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, PT, SE).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)