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1. (WO1993010552) PROCEDE ET DISPOSITIF DE PRODUCTION D'UN FAISCEAU IONIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

demande internationale considérée comme retirée 1993-05-31 00:00:00.0


N° de publication :    WO/1993/010552    N° de la demande internationale :    PCT/RU1992/000204
Date de publication : 27.05.1993 Date de dépôt international : 10.11.1992
CIB :
H01J 27/08 (2006.01)
Déposants : NAUCHNO-PROIZVODSTVENNOE PREDPRIYATIE 'NOVATEKH' [RU/RU]; Tikhvinsky per., 11, a/ya 116, Moscow, 103055 (RU) (Tous Sauf US).
SABLEV, Leonid Pavlovich [UA/UA]; (UA) (US Seulement).
ANDREEV, Anatoly Afanasievich [UA/UA]; (UA) (US Seulement).
GRIGORIEV, Sergei Nikolaevich [RU/RU]; (RU) (US Seulement).
METEL, Alexandr Sergeevich [RU/RU]; (RU) (US Seulement)
Inventeurs : SABLEV, Leonid Pavlovich; (UA).
ANDREEV, Anatoly Afanasievich; (UA).
GRIGORIEV, Sergei Nikolaevich; (RU).
METEL, Alexandr Sergeevich; (RU)
Mandataire : THE ALL-UNION CENTRE OF PATENT SERVICES 'PATIS'; ul. Miklukho-Maklaya, 55a, Moscow, 117279 (RU)
Données relatives à la priorité :
5008180 11.11.1991 SU
5008834 11.11.1991 SU
5018360 24.12.1991 SU
5024091 28.01.1992 RU
Titre (EN) METHOD AND DEVICE FOR GENERATION OF ION BEAM
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF DE PRODUCTION D'UN FAISCEAU IONIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A method for generation of an ion beam provides for excitation, in the discharge space of a vacuum chamber between the anode and the cathode, of a two-stage vacuum-arc discharge with space separation between the gas stage of the discharge plasma and the metal-gas stage of the plasma separated by a space from the working space of the vacuum chamber and forming of the emission boundary of the vacuum-arc discharge plasma within the gas stage zone after the ignition of the two-stage vacuum-arc discharge. For that purpose in a device implementing the method, the emission grid (2) is located within the gas stage zone of the vacuum-arc discharge plasma, whereas between an integrally cold cathode (5) and the anode (6) is provided a screen (9) impenetrable for metal ions generated from the surface of said cathode (5) and dividing the discharge space (4) of the vacuum chamber (1) into a cathode section (10) separated from the working space (3) of the chamber (1) and an anode section (11) separated by an emission grid (2) from the working space (3). The device may be provided, in particular, with a means for shifting the vacuum-arc discharge plasma in the direction of the emission grid.
(FR)Un procédé de production d'un faisceau ionique consiste en l'excitation, dans l'espace de décharge d'une chambre de vide entre l'anode et la cathode, d'une décharge à arc sous vide en deux étapes avec une séparation spatiale entre l'étape gazeuse de la décharge de plasma et l'étape métallogazeuse du plasma séparée par un espace de l'espace de travail de la chambre de vide, et en la formation de la frontière des émissions de la décharge de plasma à arc sous vide à l'intérieur de la zone de l'étape gazeuse, après l'allumage de la décharge à arc sous vide en deux étapes. Pour ce faire, dans un dispositif mettant en ÷uvre le procédé, la grille d'émission (2) est située à l'intérieur de la zone de l'étape gazeuse de la décharge de plasma à arc sous vide, tandis qu'entre une cathode totalement froide (5) et l'anode (6) se trouve un écran (9) impénétrable pour les ions de métal générés à partir de la surface de ladite cathode (5), et divisant l'espace de décharge (4) de la chambre de vide (1) en une partie de cathode (10) séparée de l'espace de travail (3) de la chambre (1), et une partie d'anode (11) séparée par une grille d'émission (2) de l'espace de travail (3). Le dispositif peut notamment être doté d'un moyen de décalage de la décharge de plasma à arc sous vide dans le sens de la grille d'émission.
États désignés : JP, KR, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, SE).
Langue de publication : russe (RU)
Langue de dépôt : russe (RU)