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1. (WO1993010505) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR CONTROLER LE CONTENU D'IMAGES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1993/010505    N° de la demande internationale :    PCT/DE1991/000876
Date de publication : 27.05.1993 Date de dépôt international : 13.11.1991
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    05.06.1993    
CIB :
G06T 7/00 (2006.01)
Déposants : RAMLOW, Karl [DE/DE]; (DE).
SCHNEIDER, Peter [DE/DE]; (DE).
STAHN, Heinz [DE/DE]; (DE)
Inventeurs : RAMLOW, Karl; (DE).
SCHNEIDER, Peter; (DE).
STAHN, Heinz; (DE)
Mandataire : PFEIFFER, Rolf-Gerd; Pfeiffer & Partner, Helmholtzweg 4, D-6900 Jena (DE)
Données relatives à la priorité :
Titre (DE) VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR KONTROLLE DES INHALTES VON BILDERN
(EN) PROCESS AND DEVICE FOR INSPECTING THE CONTENT OF IMAGES
(FR) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR CONTROLER LE CONTENU D'IMAGES
Abrégé : front page image
(DE)Zur Kontrolle des Inhaltes von Bildern, insbesondere von Masken bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen werden ein Verfahren und eine Anordnung angegeben, bei dem im Verlauf eines Vergleichs ein Realbild und ein Idealbild, die beide in nach Spalten und Zeilen angeordnete Bildelemente zerlegt sind, in x- und y-Koordinaten abgetastet werden. Auf diese Weise entstehen ein x- und ein y-Kantenbild, die in y- bzw. x-Richtung durchmustert zu x/y- und y/x-Kantenbildern werden. Durch Differenzbildung zwischen den y/x- und x/y-Kantenbildern des Real- bzw. Idealbildes entstehen ein Real- und ein Idealdifferenzbild. Aus dem Vergleich des Realdifferenzbildes mit dem Idealdifferenzbild wird ein Realvergleichsbild hergestellt. Schließlich wird das Idealdifferenzbild für sich durchmustert und ein Defektbild erzeugt, das die Entscheidung über die Weiterverwendung des Realbildes ermöglicht.
(EN)In order to inspect the content of images, in particular masks used to produce integrated circuits, a process and device are disclosed. A real image and an ideal image which are both decomposed in picture elements arranged in columns and rows are scanned along x and y coordinates. An x and a y marginal images are thus produced then scanned in the y and x directions to form x/y and y/x marginal images. By calculating the differences between the y/x and x/y marginal images of the real image on the one hand and of the ideal image on the other hand, a real differential image and an ideal differential image are produced. A real comparison image is produced by comparing the real differential image with the ideal differential image. Finally, the ideal differential image is scanned in itself and a defects-containing image is generated that makes it possible to decide whether the real image may be further used or not.
(FR)L'invention concerne un procédé et un dispositif pour contrôler le contenu d'images et notamment de caches lors de la fabrication de circuits intégrés. Lors de la comparaison entre une image réelle et une image idéale, les deux images sont divisées en éléments d'images disposés en colonnes et en lignes, et analysées selon les coordonnées x et y. On obtient ainsi une image marginale x et une image marginale y, qui sont analysées dans le sens y et le sens x respectivement pour former des images marginales x/y et y/x. Par soustraction des images marginales y/x et x/y de l'image réelle et respectivement de l'image idéale, on obtient une image différentielle réelle et une image différentielle idéale. En comparant l'image différentielle réelle avec l'image différentielle idéale, on obtient une image comparative réelle. Pour finir, l'image différentielle idéale seule est analysée et on obtient une image défectueuse qui permet de se prononcer sur l'utilisation ultérieure de l'image réelle.
États désignés : CH, GB, JP, KR, SE, US.
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)