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1. (WO1993009561) PROCEDE D'EXPOSITION PAR FAISCEAU ELECTRONIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1993/009561    N° de la demande internationale :    PCT/US1992/000770
Date de publication : 13.05.1993 Date de dépôt international : 29.01.1992
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    31.08.1992    
CIB :
H01J 37/302 (2006.01)
Déposants : INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION [US/US]; Armonk, NY 10504 (US)
Inventeurs : DICK, Gregory, James; (US)
Mandataire : MELLER, Michael, N.; Meller & Associates, P.O. Box 2198, Grand Central Station, New York, NY 10163 (US)
Données relatives à la priorité :
784,834 30.10.1991 US
Titre (EN) ELECTRON BEAM EXPOSURE METHOD
(FR) PROCEDE D'EXPOSITION PAR FAISCEAU ELECTRONIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A more efficient method of macro placement and graying for electron beam (e-beam) lithography. The e-beam field is divided into smaller subfields. Repetitious shapes or collections of shapes which are repetitious are represented by macros. Some shapes span or are intersected by subfield boundaries. After the shapes are converted to fill rectangles and the fill rectangles are proximity corrected, the macro containing the proximity corrected fill rectangles is grayed and placed without being unnested. First, the Macro Organization Step, the macro's fill rectangles are sorted. Tall-narrow macros are sorted top to bottom then left to right, short-wide macros are sorted left to right then top to bottom. After the sort, chains of rectangles are created and a shadow is generated for the macro and for each chain. Next, the Macro Placement and Graying Step, a determination is made of whether and where macro graying will be required. The macro shadow is transformed into subfield coordinates and a determination is made of whether the transformed shadow intersects with (spans) a subfield boundary. If the macro's shadow touches more than one subfield (spans a subfield boundary), then the macro's chain shadows are examined to deternine if any chain spans the boundary. Graying is done on any spanning chain. Gray-spliced rectangles and single rectangles are placed in the pattern buffer. Partial macro read commands are placed in the pattern buffer for chains or partial chains resulting from gray-splicing.
(FR)On décrit un procédé plus efficace de placement de macros de coloration en gris concernant la gravure par faisceau électronique. Le champ du faisceau électronique est divisé en sous-zones plus petites. Des formes répétées ou des assemblages de formes qui sont répétés sont représentés par des macros. Certaines formes traversent ou sont entrecoupées par des limites de sous-zones. Après avoir converti les formes afin de remplir les rectangles et après avoir corrigé la poximité des rectangles remplis, le macro contenant les rectangles remplis à proximité corrigée est coloré en gris et placé sans être désemboîté. Tout d'abord, dans l'étape d'organisation des macros, les rectangles remplis des macros sont triés. Des macros hauts et étroits sont triés de haut en bas puis de gauche à droite, des macros courts et larges sont triés de gauche à droite puis de haut en bas. Après le tri, des chaînes de rectangles sont formées et une ombre est générée pour le macro et pour chaque chaîne. Ensuite, dans l'étape de placement des macros et dans l'étape de coloration en gris, on détermine si la coloration en gris des macros est nécessaire et à quel endroit. L'ombre des macros est transformée en coordonnées de sous-zones et on détermine si l'ombre transformée entrecoupe (traverse) une limite de sous-zones. Si l'ombre des macros touche plus d'une sous-zone (traverse une limite de sous-zones), les ombres de la chaîne des macros sont ensuite examinées afin de déterminer si n'importe quelle chaîne traverse la limite. La coloration en gris est faite sur n'importe quelle chaîne traversante. Des rectangles raccordées par épissure et colorés en gris et des rectangles simples sont placés dans la mémoire tampon du motif. Des commandes de lecture de macros partiels sont placées dans la mémoire tampon pour des chaînes ou des chaînes partielles suite à l'épissurage et à la coloration en gris.
États désignés : JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, MC, NL, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)