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1. (WO1993009469) DISPOSITIF D'EXPOSITION LUMINEUSE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1993/009469    N° de la demande internationale :    PCT/DE1991/000859
Date de publication : 13.05.1993 Date de dépôt international : 30.10.1991
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    10.09.1992    
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. [DE/DE]; Leonrodstraße 54, D-80636 München (DE) (Tous Sauf US).
VOGT, Holger [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
KÜCK, Heinz [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
HESS, Günther [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
GEHNER, Andreas [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : VOGT, Holger; (DE).
KÜCK, Heinz; (DE).
HESS, Günther; (DE).
GEHNER, Andreas; (DE)
Mandataire : SCHOPPE, Fritz; Georg-Kalb-Strasse 9, D-82049 Pullach (DE)
Données relatives à la priorité :
Titre (DE) BELICHTUNGSVORRICHTUNG
(EN) EXPOSURE DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'EXPOSITION LUMINEUSE
Abrégé : front page image
(DE)Eine Belichtungsvorrichtung (1) dient zum Herstellen von Vorlagen (6) oder zum Direktbelichten von elektronischen Elementen und weist eine Lichtquelle (2) und einen Mustergenerator (3) auf. Um die erforderliche Schreibzeit oder Belichtungszeit bei einer vereinfachten Struktur der Belichtungsvorrichtung (1) zu verkürzen, umfasst der Mustergenerator (3) ein optisches Schlierensystem (15, 17) und einen aktiven, matrixadressierbaren Flächenlichtmodulator (13), wobei der Flächenlichtmodulator (13) eine reflektierende Oberfläche aufweist, deren adressierte Oberflächenbereiche einfallendes Licht gebeugt und deren nicht-adressierte Oberflächenbereiche einfallendes Licht ungebeugt reflektieren, das Schlierensystem (15, 17) ein Schlierenobjektiv (15), ein Projektionsobjektiv (16) und eine Spiegelvorrichtung (17) aufweist, die Licht von der Lichtquelle (2) auf die Oberfläche des Flächenlichtmodulators (13) richtet, das Schlierenobjektiv (15) mit einem bezogen auf seine Brennweite geringen Abstand zu dem Flächenlichtmodulator (13) angeordnet ist, eine Fokussiereinrichtung (4c) zum Fokussieren des Lichts von der Lichtquelle (2) in zumindest einen von der Spiegelvorrichtung (17) beabstandeten Punkt (P) vorgesehen ist, dem zumindest eine virtuelle Punktlichtquelle (P') durch Spiegelung des Punktes (P) an der Spiegelvorrichtung (17) zugeordnet werden kann, eine Filtervorrichtung (18) in der Beugungsbildebene der virtuellen Punktlichtquelle (P') zwischen dem Schlierenobjektiv (15) und dem Projektionsobjektiv (16) angeordnet ist, und ein verfahrbarer Positioniertisch (7) vorgesehen ist, auf dem die Vorlage (6) oder das elektronische Element oder die Struktur festlegbar ist.
(EN)An exposure device (1) useful for producing originals (6) or for directly exposing electronic elements has a light source (2) and a pattern generator (3). In order to shorten the required write or exposure time with an exposure device (1) having a simplified structure, the pattern generator (3) has an optical schlieren system (15, 17) and an active, matrix-addressable surface light modulator (13). The surface light modulator (13) has a reflecting surface whose addressed areas diffractively reflect incident light and whose non-addressed surface areas reflect incident light without diffraction. The schlieren system (15, 17) has a schlieren objective (15), a projection objective (16) and a reflecting device (17) which directs the light from the light source (2) onto the surface of the surface light modulator (13). The schlieren objective (15) is arranged at a short distance from the surface light modulator (13), in relation to its focal depth. A focussing device (4c) focusses the light from the light source (2) in at least one point (P) spaced apart from the reflecting device (17). At least one virtual punctual light source (P') can be associated to the point (P) by reflection of the point (P) on the reflecting device (17). A filtering device (18) is arranged on the diffraction plane of the virtual punctual light source (P'), between the schlieren objective (15) and the projection objective (16), and a movable positioning table (7) is provided, upon which the original (6), the electronic element or the structure may be secured.
(FR)Un dispositif d'exposition lumineuse (1) permettant de produire des originaux (6) ou d'exposer directement des éléments électroniques comprend une source de lumière (2) et un générateur de motifs (3). Afin de raccourcir le temps d'écriture ou d'exposition nécessaire, avec un dispositif d'exposition (1) à structure simplifiée, le générateur de motifs (3) comprend un système strioscopique optique (15, 17) et un modulateur de lumière en surface (13) actif et à adressage matriciel. Le modulateur de lumière en surface (13) comprend une surface réfléchissante dont les zones adressées réfléchissent par diffraction la lumière incidente et dont les zones non adressées réfléchissent la lumière incidente sans diffraction. Le système strioscopique (15, 17) comprend un objectif strioscopique (15), un objectif projecteur (16) et un dispositif réfléchissant (17) qui dirige la lumière émise par la source de lumière (2) sur la surface du modulateur de lumière (13). L'objectif strioscopique (15) est situé à une distance réduite du modulateur de lumière en surface (13), par rapport à sa distance focale. Un dispositif (4c) focalise la lumière émise par la source de lumière (2) sur au moins un point (P) écarté du dispositif réfléchissant (17). Au moins une source ponctuelle virtuelle de lumière (P') peut être associée au point (P) par réfléchissement du point (P) sur le dispositif réfléchissant (17). Un dispositif de filtrage (18) est situé dans le plan de diffraction de la source ponctuelle virtuelle de lumière (P') entre l'objectif strioscopique (15) et l'objectif projecteur (16). L'original (6), l'élément électronique ou la structure peuvent être assujettis sur une table mobile de positionnement (7).
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, NL, SE).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)