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1. (WO1993009395) PROCEDE POUR LA MESURE DES INCLINAISONS D'INTERFACES DANS UN SYSTEME OPTIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1993/009395    N° de la demande internationale :    PCT/EP1992/002497
Date de publication : 13.05.1993 Date de dépôt international : 30.10.1992
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    28.05.1993    
CIB :
G01B 9/02 (2006.01), G01B 11/255 (2006.01), G01D 5/26 (2006.01)
Déposants : LEICA AG [CH/CH]; CH-9435 Heerbrugg (CH) (Tous Sauf US).
GÄCHTER, Bernhard [CH/CH]; (CH) (US Seulement).
BRAUNECKER, Bernhard [DE/CH]; (CH) (US Seulement)
Inventeurs : GÄCHTER, Bernhard; (CH).
BRAUNECKER, Bernhard; (CH)
Données relatives à la priorité :
P 41 35 959.3 31.10.1991 DE
Titre (DE) VERFAHREN ZUR MESSUNG DER NEIGUNGEN VON GRENZFLÄCHEN IN EINEM OPTISCHEN SYSTEM
(EN) PROCESS FOR MEASURING THE INCLINATION OF BOUNDARY AREAS IN AN OPTICAL SYSTEM
(FR) PROCEDE POUR LA MESURE DES INCLINAISONS D'INTERFACES DANS UN SYSTEME OPTIQUE
Abrégé : front page image
(DE)Es wird ein Verfahren zur Messung der Neigung von Grenzflächen in einem optischen System und eine Vorrichtung zur Ausübung des Verfahrens beschrieben. Ausgehend von einem Autokollimationsverfahren, das aus der Ablage eines auf eine zu untersuchende Grenzfläche kollimierten und zu einem positionsempfindlichen Fotodetektionssystem reflektierten Lichtstrahls die Neigung dieser Grenzfläche gegenüber einer Bezugsachse bestimmt, wird ein Zweistrahlinterferometer-Verfahren mit nachgeschalteter Auswertungselektronik angegeben, das eine Trennung des erfindungsgemäß intensitätsmodulierten Interferogramms der zu untersuchenden Grenzfläche von den unmodulierten Störreflexen der nicht zu untersuchenden Grenzflächen bis hinab zu Interferogramm-Intensitäten im Bereich des Photonenrauschens gestattet und dabei eine Auflösung der Ablage des Schwerpunktes des Interferogramms in der Größenordnung von 10 nm bietet. Zur Intensitätsmodulation des Interferogramms wird die optische Weglängendifferenz zwischen Referenzstrahl und Prüfstrahl bis zu der zu untersuchenden Grenzfläche zeitlich moduliert.
(EN)The description relates to the measurement of the inclination of boundary areas in an optical system and a device for implementing the process. Starting with an auto-collimation process which determines the inclination of this boundary area in relation to a reference axis from the deviation of a light beam collimated on the boundary area to be examined and reflected on a position-sensitive photo-detection system, a twin-beam interferometer process with downstream evaluation electronics is provided which permits the separation of the interferogram, intensity-modulated according to the invention, of the boundary area to be examined from the unmodulated interference reflections of those not to be examined as far as interferogram intensities in the photon-noise range and thus offers a resolution in the deviation of the centre of gravity of the interferogram of the order of 10 nm. To modulate the intensity of the interferogram, the difference in the optical distance between the reference and test beams to the boundary area to be examined is time-modulated.
(FR)On décrit un procédé pour la mesure de l'inclinaison d'interfaces dans un système optique et un dispositif pour la mise en ÷uvre du procédé. Sur la base d'un procédé d'autocollimation qui détermine, à partir de la déviation d'un rayon lumineux subissant une collimation sur une interface à examiner et réfléchi vers un système de photodétection sensible à la position, l'inclinaison de cette interface par rapport à un axe de référence, on propose un système d'interférométrie à deux faisceaux avec une électronique d'analyse associée, qui permet une séparation de l'interférogramme, modulé en intensité dans le cadre de l'invention, de l'interface à étudier par rapport aux réflexes parasites non modulés des interfaces qui ne doivent pas être étudiés, jusqu'à des intensités de l'interférogramme correspondant au domaine du bruit photonique et qui offre une résolution de la déviation du centre de gravité de l'interférogramme de l'ordre de 10 nm. Pour moduler l'intensité de l'interférogramme, la différence entre le trajet optique du faisceau de référence et celui du faisceau d'essai suivis jusqu'à l'interface à étudier est moulée dans le temps.
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IE, IT, LU, MC, NL, SE).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)