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1. (WO1992019007) TRAVERSEE POUR SIGNAUX ACHEMINES DANS UN VIDE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1992/019007    N° de la demande internationale :    PCT/DE1992/000281
Date de publication : 29.10.1992 Date de dépôt international : 08.04.1992
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    20.11.1992    
CIB :
H01B 17/30 (2006.01), H01J 37/18 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01)
Déposants : SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Wittelsbacherplatz 2, D-80333 München (DE) (Tous Sauf US).
SCHÄFFER, Peter [DE/DE]; (DE) (US Seulement).
LISCHKE, Burkhard [DE/DE]; (DE) (US Seulement)
Inventeurs : SCHÄFFER, Peter; (DE).
LISCHKE, Burkhard; (DE)
Mandataire : SIEMENS AG; Postfach 22 16 34, D-8000 München 22 (DE)
Données relatives à la priorité :
P 41 13 111.8 22.04.1991 DE
Titre (DE) VAKUUM-SIGNALDURCHFÜHRUNG
(EN) SIGNAL LEADTHROUGH INTO VACUUM
(FR) TRAVERSEE POUR SIGNAUX ACHEMINES DANS UN VIDE
Abrégé : front page image
(DE)Die in einem modernen Kammsondenprojektor verwendete Steuereinheit zur Erzeugung einer Vielzahl individuell austastbarer Elektronensonden besteht aus einer Aperturblende und einer Ablenkpatte, die mehr als 1000 Mikrokondensatoren (MK) aufweist. Die zum Betrieb der Steuereinheit erforderlichen Signale müssen auf engstem Raum durch eine Kammerwand (KW) ins Vakuum geleitet und an die der Ablenkung der Elektronensonden dienenden Mikrokondensatoren (MK) herangeführt werden. Dies geschieht erfindungsgemäß mit Hilfe einer in die Kammer hineinragenden und vakuumdicht gehalterten Leiterplatte (LP) oder Vielschichtplatine. Als Halterung kommt insbesondere ein an der Kammerwand (KW) befestigter Flansch (FL) in Betracht, in den die Leiterplatte (LP) vakuumdicht eingegossen ist.
(EN)The control unit used in modern comb electron-beam projectors to produce a large number of electron beams which can be individually blanked off consists of an aperture diaphragm and a deflecting plate with over 1000 microcapacitors (MC). The signals needed to operate the control unit must be conducted through a very small area in the chamber wall (CW) into the vacuum and to the microcapacitors (MC) used for deflecting the electron beams. This is achieved with the aid of a printed circuit board (PCB) secured in a vacuum-proof manner and protruding into the chamber, or a multilayer board. A flange (FL) fixed to the chamber wall (CW), and in which the printed circuit board (PCB) is hermetically sealed, is particularly suitable as a support.
(FR)Le module de commande d'un graveur à projection moderne par faisceaux d'électrons en forme de peigne, destiné à produire un très grand nombre de faisceaux électroniques que l'on peut supprimer individuellement, comporte un diaphragme d'ouverture et une platine de déflection qui comprend plus de 1000 microcondensateurs (MC). Le signaux nécessaires pour actionner le module de commande doivent être acheminés dans un vide, en occupant le moins d'espace possible, en passant par la paroi de la chambre (PC). Ils doivent également être amenés aux microcondensateurs (MC) servant à la déflection des faisceaux électroniques. D'après l'invention, ce processus est possible grâce à la présence d'une carte de circuits imprimés (CI) ou platine multicouche faisant saillie dans la chambre et fixée de manière étanche au vide. Cette fixation est réalisée notamment grâce à une bride (BR) assujettie à la paroi de la chambre (PC), dans laquelle la carte de circuits imprimés (CI) est scellée de manière étanche au vide.
États désignés : JP, US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, MC, NL, SE).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)