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1. (WO1992010903) SYSTEME DE COMMANDE DE FAISCEAU DE BALAYAGE AVEC ECHELLE DE REFERENCE TRANSLATEE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1992/010903    N° de la demande internationale :    PCT/US1991/009307
Date de publication : 25.06.1992 Date de dépôt international : 06.12.1991
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    18.06.1992    
CIB :
G06K 15/12 (2006.01), H04N 1/047 (2006.01), H04N 1/10 (2006.01), H04N 1/113 (2006.01), H04N 1/191 (2006.01)
Déposants : INTERGRAPH CORPORATION [US/US]; One Madison Industrial Park, Huntsville, AL 35894-0001 (US)
Inventeurs : PINARD, Alward, I.; (US)
Mandataire : SUNSTEIN, Bruce, D.; Bromberg & Sunstein, 10 West Street, Boston, MA 02111 (US)
Données relatives à la priorité :
626,582 07.12.1990 US
Titre (EN) SCANNING BEAM CONTROL SYSTEM WITH TRANSLATED REFERENCE SCALE
(FR) SYSTEME DE COMMANDE DE FAISCEAU DE BALAYAGE AVEC ECHELLE DE REFERENCE TRANSLATEE
Abrégé : front page image
(EN)A scanning system, having a fixed platen and optical imaging system (4) and a translated reference scale (15), is provided for scanning of a modulated light beam (8) (or a set of parallel, independently modulated light beams) onto an object surface. The optical system provides a combined light beam including the modulated light beam (8) and a reference light beam (9). An optical imaging device (4) moves the combined light beam along a scan line, and a translatably mounted beam splitter (7) splits the combined light beam to direct at least some of the reference light beam (9) onto a reference scale (15) and a sensor (47). The reference scale sensor (47), which is rigidly attached to the beam splitter (7), and is responsive to reference beam (9) position in two directions, provides a clocking signal indicative of beam position along the scan line and a vernier position signal indicative of beam position in a direction transverse to the scan line. An optical stepper controls the translation of the beam splitter (7) such as to position precisely each of a series of scans in a direction transverse to the scan lines.
(FR)On décrit un système d'analyse par balayage, comprenant une plaque et un système d'imagerie optique fixes (4) ainsi qu'une échelle de référence translatée (15), lequel système sert à balayer une surface d'objet au moyen d'un faisceau de lumière modulé (8) (ou d'un ensemble de faisceaux parallèles, indépendamment modulés). Le système optique produit un faisceau de lumière combiné comprenant un faisceau de lumière modulé (8) et un faisceau de lumière de référence (9). Un dispositif d'imagerie optique (4) déplace le faisceau combiné le long d'une ligne de balayage, et un élément de fractionnement de faisceau (7), monté de façon à pouvoir être translaté, fractionne le faisceau combiné afin d'orienter au moins une partie du faisceau de référence (9) vers une échelle de référence (15) et un capteur (47). Le capteur (47) d'échelle de référence, qui est fixé de manière rigide à l'élément de fractionnement de faisceau (7), et qui est sensible à la position du faisceau de référence (9) en deux directions, produit un signal de synchronisation indiquant la position du faisceau le long de la ligne de balayage et un signal de position précise indiquant la position du faisceau transversalement par rapport à la ligne de balayage. Un dispositif optique à progression pas à pas commande la translation de l'élément de fractionnement de faisceau (7) de façon à positionner de manière précise chacun d'une série de mouvements de balayage en un sens transversal par rapport aux lignes de balayage.
États désignés : JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, MC, NL, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)