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1. (WO1992010729) MICRO-DISPOSITIF DE DETECTION OU D'APPLICATION D'UNE FORCE ET SON PROCEDE DE FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1992/010729    N° de la demande internationale :    PCT/US1991/009423
Date de publication : 25.06.1992 Date de dépôt international : 12.12.1991
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    10.07.1992    
CIB :
G01L 1/16 (2006.01), H01L 41/24 (2006.01)
Déposants : REGENTS OF THE UNIVERSITY OF MINNESOTA [US/US]; 568 Administrative Services Center, 1919 University Avenue, St. Paul, MN 55104 (US)
Inventeurs : POLLA, Dennis, L.; (US).
TAMAGAWA, Takashi; (US)
Mandataire : ELLINGER, Mark, S.; Patterson & Keough, 615 Peavey Building, 730 Second Avenue South, Minneapolis, MN 55402 (US)
Données relatives à la priorité :
626,712 12.12.1990 US
Titre (EN) MICRODEVICE FOR SENSING OR APPLYING A FORCE AND METHOD OF MAKING THE SAME
(FR) MICRO-DISPOSITIF DE DETECTION OU D'APPLICATION D'UNE FORCE ET SON PROCEDE DE FABRICATION
Abrégé : front page image
(EN)A microsensor or micromechanical device based upon the piezoelectric properties of thin film lead zirconate titanate (PZT) with a thickness of between 0.1 and 5 microns. The thin film PZT (11) is sandwiched between first and second electrodes (10, 12) which are provided with electrical connection means (14, 15) for electrically connecting the electrodes to a voltage sensor or voltage source (16). The invention also relates to a method for making such microsensor or micromechanical device.
(FR)Dispositif de micro-détection ou micro-mécanique basé sur les propriétés piézoélectriques du titane de zirconate (PZT) à fils conducteurs à couche mince d'une épaisseur comprise entre 0,1 et 5 microns. Le PZT en couche mince (11) est pris en sandwich entre des première et seconde électrodes (10, 12), lesquelles sont dotées de moyens de connexion électrique (14, 15) permettant de relier électriquement les électrodes à un capteur de tension ou à une source de tension (16). L'invention concerne également un procédé de fabrication dudit dispositif de micro-détection ou micro-mécanique.
États désignés : JP.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, MC, NL, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)