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1. (WO1992010076) STABILISATEUR DE PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1992/010076    N° de la demande internationale :    PCT/JP1991/001617
Date de publication : 11.06.1992 Date de dépôt international : 26.11.1991
CIB :
H05H 1/00 (2006.01), H05H 1/46 (2006.01)
Déposants : NICHIMEN KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 2-2, Nakanoshima 2-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 530 (JP) (Tous Sauf US).
NIHON KOSYUHA KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 1119, Nakayama-cho, Midori-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 226 (JP) (Tous Sauf US).
SHINOHARA, Kibatsu [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
OBARA, Kozo [JP/JP]; (JP) (US Seulement).
UMEZAWA, Tsuku [JP/JP]; (JP) (US Seulement)
Inventeurs : SHINOHARA, Kibatsu; (JP).
OBARA, Kozo; (JP).
UMEZAWA, Tsuku; (JP)
Mandataire : KAN, Naoto; 6th Floor, Kimura Bldg., 11-12, Yoyogi 2-chome, Shibuya-ku, Tokyo 151 (JP)
Données relatives à la priorité :
2/328262 28.11.1990 JP
Titre (EN) PLASMA STABILIZER
(FR) STABILISATEUR DE PLASMA
Abrégé : front page image
(EN)A plasma stabilizer having a circuit for measuring the electron temperature and electron density of a plasma by a triple probe, a circuit for controlling the plasma pressure and a circuit for controlling the power for exciting a plasma. A stable plasma is generated automatically by controlling automatically at least one of the plasma pressure and the power for exciting the plasma. In a conventional high frequency plasma device, since the high frequency or microwave power and the gas pressure are adjusted manually, the device cannot follow up the variations of the power and pressure automatically.
(FR)Stabilisateur de plasma possédant un circuit destiné à mesurer la température des électrons et la densité des électrons d'un plasma au moyen d'une triple sonde, un circuit de régulation de la pression d'un plasma et un circuit de régulation du courant d'excitation d'un plasma. Un plasma stable est généré automatiquement par la régulation automatique d'au moins soit la pression du plasma, soit le courant d'excitation du plasma. Dans un dispositif à plasma à haute fréquence traditionnel, étant donné que le courant de haute fréquence ou d'hyperfréquence et la pression gazeuse sont réglées manuellement, le dispositif ne peut pas s'adapter automatiquement aux variations du courant et de la pression.
États désignés : US.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, NL, SE).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)