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1. (WO1992010070) TRANSDUCTEUR MICROELECTROMECANIQUE ET PROCEDE DE FABRICATION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/1992/010070    N° de la demande internationale :    PCT/US1991/008901
Date de publication : 11.06.1992 Date de dépôt international : 25.11.1991
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    29.06.1992    
CIB :
B06B 1/02 (2006.01), H02N 1/00 (2006.01), H04R 19/00 (2006.01)
Déposants : MCNC [US/US]; 3021 Corwallis Road, P.O. Box 12889, Research Triangle Park, NC 27709 (US)
Inventeurs : BOBBIO, Stephen, Michael; (US)
Mandataire : MCCOY, Michael, D.; Bell, Seltzer, Park & Gibson, P.O. Drawer 34009, Charlotte, NC 28234 (US)
Données relatives à la priorité :
619,183 27.11.1990 US
Titre (EN) MICROELECTROMECHANICAL TRANSDUCER AND FABRICATION METHOD
(FR) TRANSDUCTEUR MICROELECTROMECANIQUE ET PROCEDE DE FABRICATION
Abrégé : front page image
(EN)A microelectromechanical transducer including a plurality of strips arranged in an array and maintained in a closely spaced relation by a plurality of spacers. An electrically conductive layer on portions of the strips and spacers distributes electrical signal within the transducer to cause adjacent portions of the strips to move together. The strips and spacers may be formed from a common dielectric layer using microelectronic fabrication techniques. Two transducers may be coupled at an angle offset from parallel for two-dimensional micropositioning. A photodetector and Fresnel lens may be combined with the micropositioner using the transducers for optical scanning microscopy.
(FR)Transducteur microélectromécanique comprenant plusieurs bandes agencées sous forme de réseau et maintenues en relation d'espacement serré par une pluralité d'éléments d'espacement. Une couche électroconductrice sur des portions des bandes et des éléments d'espacement distribuent un signal électrique dans le transducteur pour faire en sorte que des portions adjacentes des bandes se déplacent ensemble. Les bandes et les éléments d'espacement peuvent être formés à partir d'une couche diélectrique commune en appliquant des techniques de fabrication microélectroniques. Deux transducteurs peuvent être couplés selon un angle décalé par rapport à un positionnement parallèle pour obtenir un micropositionnement bidimensionnel. Un photodétecteur et une lentille de Fresnel peuvent être combinés avec le micropositionneur en utilisant les transducteurs à des fins de microscopie à balayage optique.
États désignés : CA, JP, KR.
Office européen des brevets (OEB) (AT, BE, CH, DE, DK, ES, FR, GB, GR, IT, LU, NL, SE).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)